第43期“見(jiàn)微知著”培訓(xùn)課程：壓電MEMS與傳感器？
主辦單位：麥姆斯咨詢
協(xié)辦單位：上海傳感信息科技有限公司
一、課程簡(jiǎn)介
2022年新冠疫情仍伴隨著我們，MEMS產(chǎn)業(yè)鏈也面臨著種種挑戰(zhàn)。但是，以壓電MEMS為代表的新技術(shù)進(jìn)入黃金發(fā)展期，燃起業(yè)界對(duì)未來(lái)的希望——基于壓電MEMS的新器件層出不窮，推動(dòng)MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)向前發(fā)展，賦能萬(wàn)物互聯(lián)的智能化應(yīng)用。為此，全球MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的兩大IDM巨頭——博世（Bosch）和意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics）積極參與其中，對(duì)外提供壓電MEMS研發(fā)及代工服務(wù)，確保新產(chǎn)品的量產(chǎn)能力和可靠性。
意法半導(dǎo)體全球首創(chuàng)“Lab-in-Fab”概念，構(gòu)建8英寸壓電MEMS研發(fā)線
在國(guó)內(nèi)方面，國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心、上海微技術(shù)工研院和蘇州納米城MEMS中試平臺(tái)都發(fā)布了壓電MEMS工藝能力，投身于新技術(shù)培育孵化和多功能產(chǎn)品定義。中芯集成、中芯寧波、賽微電子等MEMS代工廠主要在濾波器領(lǐng)域展開(kāi)布局。2021年，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專項(xiàng)項(xiàng)目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”的項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)在天津召開(kāi)，對(duì)實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國(guó)目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，具有重要而深遠(yuǎn)的意義。
壓電器件類型：塊體型（Bulk）、厚膜型（Thick Film）、薄膜型（Thin Film）（來(lái)源：ULVAC）
隨著先進(jìn)材料和MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展，以鋯鈦酸鉛（PZT）和氮化鋁（AlN）為代表的薄膜型壓電材料的制備越來(lái)越成熟。薄膜型壓電器件可利用MEMS代工廠，開(kāi)發(fā)與CMOS兼容的量產(chǎn)工藝，從而改變傳統(tǒng)壓電器件“體積大、功耗高、批量生產(chǎn)能力低、價(jià)格貴”的形象，對(duì)消費(fèi)類應(yīng)用領(lǐng)域來(lái)講極具吸引力！在薄膜型壓電器件中，體聲波濾波器（BAW）是當(dāng)前的最大功臣，占據(jù)最大的市場(chǎng)份額；其它產(chǎn)品，例如超聲波換能器、揚(yáng)聲器、麥克風(fēng)、慣性傳感器、微鏡，也在不斷探索新應(yīng)用，以期挖掘高價(jià)值的藍(lán)海市場(chǎng)。
在壓電執(zhí)行器方面，USound于2022年發(fā)布新款壓電式MEMS揚(yáng)聲器，適用于兼容磁共振成像（MRI）的耳機(jī)及配件；xMEMS于2021年推出多款單芯片壓電MEMS揚(yáng)聲器，例如Cowell主要面向TWS耳機(jī)和助聽(tīng)器應(yīng)用，而Tomales主攻智能眼鏡和AR/VR頭戴式設(shè)備應(yīng)用；Piezo Motion于2021年宣布全球首創(chuàng)一款新型壓電微劑量泵（超精密旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)+微型注射器），能夠?yàn)樯茖W(xué)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備提供精確的微流體控制；富士膠片于2021年發(fā)布硅基MEMS壓電噴墨打印系統(tǒng)X-BAR，集成的打印頭基于濺射法制備的壓電陶瓷薄膜，可以實(shí)現(xiàn)數(shù)萬(wàn)億次執(zhí)行的長(zhǎng)壽命。
典型的壓電MEMS執(zhí)行器
在壓電傳感器方面，Vesper于2022年發(fā)布第二代智能壓電語(yǔ)音加速度計(jì)VA1210，提供更高的靈敏度和信噪比，并且集成語(yǔ)音喚醒等新功能；能斯達(dá)電子于2022年宣布?jí)鹤枧c壓電二合一的復(fù)合柔性微納傳感器的研發(fā)成功，該產(chǎn)品能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)和靜態(tài)力學(xué)信號(hào)的寬范圍、高靈敏檢測(cè)；茂丞科技于2021年推出芯片級(jí)壓電超聲波換能器JMS922，以及應(yīng)用于電子煙油質(zhì)量與液位檢測(cè)的ToF解決方案；imec于2021年展示一款基于壓電超聲波換能器的超聲探頭，并實(shí)現(xiàn)動(dòng)脈硬化檢測(cè)以及血壓監(jiān)測(cè)的概念驗(yàn)證。
典型的壓電MEMS傳感器
為了助力中國(guó)壓電MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，麥姆斯咨詢從2019起每年都會(huì)甄選市場(chǎng)熱點(diǎn)與技術(shù)重點(diǎn)，量身定制相關(guān)主題的培訓(xùn)課程。2022年，麥姆斯咨詢從壓電傳感器和壓電執(zhí)行器兩方面出發(fā)，策劃課程內(nèi)容涵蓋：（1）BAW濾波器和BAW傳感器；（2）SAW傳感器和SAW微流控；（3）石英晶體微天平傳感器；（4）高溫壓電陶瓷材料及其在振動(dòng)傳感器中的應(yīng)用；（5）壓電MEMS聲學(xué)傳感器；（6）壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡；（7）柔性壓電式壓力傳感器；（8）BiFeO3壓電薄膜及MEMS器件應(yīng)用；（9）壓電MEMS諧振器與振蕩器；（10）壓電MEMS微執(zhí)行器技術(shù)研究進(jìn)展；（11）氮化鋁MEMS大有可為。
二、培訓(xùn)對(duì)象
本課程主要面向壓電MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)的技術(shù)人員和管理人員，以及高校師生，同時(shí)也歡迎其他希望了解壓電MEMS與傳感器的非技術(shù)背景人員參加，如銷售和市場(chǎng)人員、投融資機(jī)構(gòu)人員、政府管理人員等。
三、培訓(xùn)時(shí)間
2022年6月24日~6月26日
授課結(jié)束后，為學(xué)員頒發(fā)麥姆斯咨詢的結(jié)業(yè)證書。
四、培訓(xùn)方式
原計(jì)劃線下舉辦，因?yàn)橐咔橛绊懜臑榫€上直播課程和答疑。
五、課程內(nèi)容
課程一：BAW濾波器和BAW傳感器
老師：西南科技大學(xué) 研究員 高楊
BAW濾波器和BAW傳感器的基本構(gòu)件是基于MEMS技術(shù)的諧振器，主要包括FBAR和BAW-SMR兩大類。BAW濾波器因具有低插入損耗和高Q值成為高性能5G射頻前端系統(tǒng)的首選，吸引眾多海歸專家與本土人才投身創(chuàng)業(yè)大潮。BAW傳感器通過(guò)檢測(cè)諧振器的諧振頻率變化得到待測(cè)物理量，具有靈敏度高、工作頻率高等優(yōu)點(diǎn)。本課程從壓電材料體系出發(fā)，詳細(xì)介紹BAW諧振器及濾波器、BAW壓力傳感器及讀出電路的核心技術(shù)。
課程提綱：
（1）壓電材料體系綜述；
（2）BAW諧振器及濾波器設(shè)計(jì)與制造；
（3）BAW濾波器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)；
（4）BAW壓力傳感器設(shè)計(jì)與制造；
（5）BAW壓力傳感器讀出電路設(shè)計(jì)；
（6）BAW技術(shù)創(chuàng)新與挑戰(zhàn)。
課程二：SAW傳感器和SAW微流控
老師：岳麓學(xué)者、博士生導(dǎo)師 周劍
SAW器件的聲波傳播能量主要集中在固體表面，當(dāng)固體表面受到外界的刺激（力、電、磁、熱）時(shí)，聲波波速變化，導(dǎo)致諧振頻率變化，通過(guò)探測(cè)頻率偏移，實(shí)現(xiàn)對(duì)外界參量（如溫度、粘度、氣體濃度、曲度）的探測(cè)。而通過(guò)在一次性芯片表面上圖案化的微結(jié)構(gòu)來(lái)控制表面聲波與微流體之間的相互作用，以隨頻率變化的特定方式來(lái)形成聲波，在許多生物和醫(yī)療應(yīng)用中具有巨大的前景。本課程將為學(xué)員們講解SAW傳感器和SAW微流控的核心技術(shù)和典型應(yīng)用。
課程提綱：
（1）SAW基本概念、內(nèi)涵；
（2）SAW傳感器原理和無(wú)線無(wú)源監(jiān)測(cè)；
（3）SAW傳感器的制備和封裝工藝；
（4）柔性SAW、透明SAW、超高頻SAW前沿進(jìn)展；
（5）SAW傳感器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀和主要廠商；
（6）SAW微流控原理和應(yīng)用：聲線、粒子集聚、微泵和霧化；
（7）SAW微流控產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀。
課程三：石英晶體微天平傳感器
老師：上海大學(xué) 教授 徐甲強(qiáng)
石英晶體微天平（QCM）利用石英晶體的壓電效應(yīng)，將電極表面的質(zhì)量變化轉(zhuǎn)化為振蕩電路輸出的電信號(hào)頻率變化，進(jìn)而再通過(guò)處理電路獲得高精度的數(shù)據(jù)，在微量及痕量物質(zhì)檢測(cè)方面具有優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于化學(xué)、物理、生物和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域。此外，根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求，還可以在電極上選擇性地鍍膜來(lái)進(jìn)一步拓展檢測(cè)領(lǐng)域。本課程詳細(xì)講解石英晶體微天平技術(shù)及應(yīng)用，重點(diǎn)在于氣體和濕度傳感器設(shè)計(jì)與制造。
課程提綱：
（1）石英晶體微天平概念及工作原理；
（2）石英晶體微天平應(yīng)用進(jìn)展；
（3）基于石英晶體微天平的甲醛傳感器設(shè)計(jì)與制造；
（4）基于石英晶體微天平的濕度傳感器設(shè)計(jì)與制造；
（5）石英晶體微天平傳感器技術(shù)展望。
課程四：高溫壓電陶瓷材料及其在振動(dòng)傳感器中的應(yīng)用
老師：中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 研究員 周志勇
壓電式振動(dòng)傳感器主要用于發(fā)動(dòng)機(jī)和燃?xì)廨啓C(jī)的振動(dòng)監(jiān)測(cè)和分析，尤其是航空發(fā)動(dòng)機(jī)健康管理系統(tǒng)的關(guān)鍵感知器件。但是在航空發(fā)電機(jī)應(yīng)用中，嚴(yán)苛的環(huán)境（例如高溫、高轉(zhuǎn)速、復(fù)雜振動(dòng)）對(duì)壓電式振動(dòng)傳感器核心敏感元件（高溫壓電陶瓷）的服役性和穩(wěn)定性提出了新的挑戰(zhàn)。本課程主要介紹壓電式振動(dòng)傳感器的國(guó)內(nèi)外進(jìn)展，并講解高溫壓電陶瓷材料各方面知識(shí)，以期為國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)品研究及產(chǎn)業(yè)化提供一定的技術(shù)支撐。
課程提綱：
（1）高溫壓電式振動(dòng)傳感器的國(guó)內(nèi)外進(jìn)展；
（2）高溫壓電陶瓷材料體系及國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品情況；
（3）高溫壓電陶瓷材料結(jié)構(gòu)與靜態(tài)性能調(diào)控和改善；
（4）高溫壓電陶瓷材料動(dòng)態(tài)性能評(píng)測(cè)方法和技術(shù)；
（5）高溫壓電陶瓷材料面臨的挑戰(zhàn)及應(yīng)用展望。
課程五：壓電MEMS聲學(xué)傳感器
老師：武漢大學(xué) 講師 劉文娟
近些年，壓電MEMS技術(shù)在聲學(xué)傳感領(lǐng)域發(fā)展迅速，典型應(yīng)用包括麥克風(fēng)、超聲換能器、水聽(tīng)器等。以壓電薄膜替代傳統(tǒng)電容結(jié)構(gòu)的壓電MEMS麥克風(fēng)的主要優(yōu)點(diǎn)包括：（1）高可靠性，防水防塵性能優(yōu)秀；（2）無(wú)需電荷泵，降低語(yǔ)音喚醒和始終在線的功耗；（3）更快的響應(yīng)速度，減少語(yǔ)音交互延遲；（4）高聲學(xué)過(guò)載點(diǎn)（AOP），可用于嘈雜或工業(yè)環(huán)境。本課程從壓電薄膜生長(zhǎng)到壓電器件設(shè)計(jì)與制造，講解麥克風(fēng)和超聲換能器兩大熱門產(chǎn)品。
課程提綱：
（1）壓電MEMS聲學(xué)傳感器概述；
（2）氮化鋁/摻鈧氮化鋁薄膜生長(zhǎng)與器件制備；
（3）壓電MEMS超聲換能器（PMUT）設(shè)計(jì)與制造；
（4）壓電MEMS麥克風(fēng)設(shè)計(jì)與制造；
（5）基于PMUT的高分辨率超聲成像系統(tǒng)展望。
課程六：壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡
老師：華中科技大學(xué) 教授 余洪斌
MEMS微鏡指采用MEMS制造技術(shù)，把微光反射鏡與MEMS驅(qū)動(dòng)器集成在一起的光學(xué)器件，在激光雷達(dá)、3D攝像頭、微家用投影儀、汽車智能前燈、光通信等應(yīng)用扮演著重要角色。MEMS變形鏡是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵元件，對(duì)波前像差的擬合能力決定了自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的校正性能。本課程詳解基于氮化鋁（AIN）的MEMS微鏡和MEMS變形鏡技術(shù)及未來(lái)發(fā)展。
課程提綱：
（1）MEMS微鏡基本概念及驅(qū)動(dòng)技術(shù)（壓電驅(qū)動(dòng)、靜電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng)、電熱驅(qū)動(dòng)）特性分析；
（2）壓電MEMS微鏡技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及其面臨的問(wèn)題和解決方案；
（3）壓電MEMS微鏡器件設(shè)計(jì)和制造實(shí)例；
（4）自適應(yīng)光學(xué)基本概念和工作原理；
（5）壓電MEMS變形鏡技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及其面臨的問(wèn)題和解決方案；
（6）壓電MEMS變形鏡器件設(shè)計(jì)和制造實(shí)例。
課程七：柔性壓電式壓力傳感器
老師：浙江清華柔性電子技術(shù)研究院 副研究員 唐瑞濤
隨著材料科學(xué)、柔性電子和微納技術(shù)的發(fā)展，各種柔性壓力傳感器應(yīng)運(yùn)而生，它們通常由兩層柔性電極和中間的功能軟材料構(gòu)成，具有可彎曲、可變形的特點(diǎn)。聚偏二氟乙烯（PVDF）是一種有機(jī)壓電聚合物，可用于柔性壓力傳感器、超聲波指紋識(shí)別傳感器等。基于PVDF的柔性壓力傳感器在智能觸覺(jué)、健康監(jiān)測(cè)、生物醫(yī)療、人機(jī)交互等領(lǐng)域具有應(yīng)用潛力。本課程針對(duì)柔性壓電式壓力傳感器進(jìn)行詳細(xì)剖析，并對(duì)未來(lái)技術(shù)發(fā)展進(jìn)行展望。
課程提綱：
（1）柔性壓電材料介紹；
（2）PVDF壓電薄膜及其性能；
（3）柔性壓電式壓力傳感器設(shè)計(jì)；
（4）柔性壓電式壓力傳感器制造；
（5）柔性壓電式壓力傳感器測(cè)試；
（6）柔性壓電式壓力傳感器技術(shù)展望。
課程八：BiFeO?壓電薄膜及MEMS器件應(yīng)用
老師：齊魯工業(yè)大學(xué) 教授 歐陽(yáng)俊
近年來(lái)，隨著MEMS、傳感器及隨機(jī)存儲(chǔ)器等行業(yè)的迅速發(fā)展，具備優(yōu)異的鐵電和壓電性能的薄膜材料已經(jīng)成為研究領(lǐng)域的熱點(diǎn)之一。目前，鉛系材料仍然是應(yīng)用于這些領(lǐng)域的主體材料，但是其在制備和使用的過(guò)程中會(huì)對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重的污染問(wèn)題。因此，尋找一種無(wú)鉛且性能優(yōu)越的材料成為大勢(shì)所趨。BiFeO?薄膜因其優(yōu)異的鐵電和壓電性能而受到人們的廣泛關(guān)注，成為可以與鉛系材料相媲美的一類無(wú)鉛鐵電環(huán)保材料。本課程詳細(xì)講解BiFeO?薄膜材料性質(zhì)、制備與表征方法，以及基于BiFeO?薄膜的MEMS器件。
課程提綱：
（1）BiFeO?材料介紹；
（2）BiFeO?薄膜制備及表征方法；
（3）基于BiFeO?壓電薄膜的MEMS器件原型及表征；
（4）BiFeO?壓電薄膜的性能調(diào)控；
（5）BiFeO?壓電薄膜技術(shù)發(fā)展及應(yīng)用展望。
課程九：壓電MEMS諧振器與振蕩器
老師：武漢大學(xué) 教授 吳國(guó)強(qiáng)
時(shí)鐘器件是電子電路設(shè)備的心臟，提供時(shí)間參考和頻率基準(zhǔn)。MEMS時(shí)鐘器件（例如MEMS振蕩器）是MEMS細(xì)分市場(chǎng)增速領(lǐng)先的產(chǎn)品。相比傳統(tǒng)的石英晶體振蕩器，壓電MEMS振蕩器具有小尺寸、高可靠性、低功耗和可編程等優(yōu)勢(shì)，在可穿戴設(shè)備、物聯(lián)網(wǎng)、智能手機(jī)和汽車等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。本課程講授MEMS諧振器與振蕩器基礎(chǔ)知識(shí)、設(shè)計(jì)理論、系統(tǒng)應(yīng)用以及產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵技術(shù)。
課程提綱：
（1）MEMS諧振器、振蕩器及時(shí)鐘概念、原理及分類；
（2）MEMS時(shí)鐘器件產(chǎn)業(yè)情況及主要廠商；
（3）壓電MEMS諧振器設(shè)計(jì)理論；
（4）壓電MEMS諧振器關(guān)鍵技術(shù)；
（5）壓電MEMS諧振器與振蕩器設(shè)計(jì)、制造及測(cè)試。
課程十：壓電MEMS微執(zhí)行器技術(shù)研究進(jìn)展
老師：烏鎮(zhèn)實(shí)驗(yàn)室 研究員 杜亦佳
壓電MEMS通過(guò)單片集成形式即可實(shí)現(xiàn)執(zhí)行、傳感、能量收集和無(wú)線通信，是應(yīng)用潛力巨大的熱點(diǎn)技術(shù)。壓電MEMS微執(zhí)行器能夠精確、自主地執(zhí)行復(fù)雜動(dòng)作如直線、旋轉(zhuǎn)、加速度、鉗動(dòng)等，以此完成對(duì)極微小器件與結(jié)構(gòu)的納米尺度精確操作。因此，壓電MEMS微執(zhí)行器不但能夠滿足集成微系統(tǒng)（IMS）對(duì)自測(cè)試性、微定位性和片上操控性的嚴(yán)苛要求，同時(shí)能夠滿足集成微系統(tǒng)對(duì)輸出力矩/體積效能比、響應(yīng)速度、分辨率、功耗、集成度方面的需求。通過(guò)本課程的學(xué)習(xí)，您可以全面了解壓電MEMS微執(zhí)行器技術(shù)及應(yīng)用。
課程提綱：
（1）壓電MEMS微執(zhí)行器基本概念和工作原理；
（2）壓電MEMS微執(zhí)行器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；
（3）壓電MEMS微執(zhí)行器制造工藝；
（4）基于KNN薄膜的壓電MEMS換能器設(shè)計(jì)與制造；
（5）壓電MEMS微執(zhí)行器應(yīng)用領(lǐng)域及發(fā)展趨勢(shì)。
課程十一：氮化鋁MEMS大有可為
老師：天津大學(xué) 助理教授 張孟倫
氮化鋁（AlN）壓電薄膜作為一種重要的III-V族化合物材料，具有高聲波速、高壓電性以及良好的化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)，在傳感器、高頻聲波諧振器及濾波器等領(lǐng)域備受關(guān)注。通過(guò)在氮化鋁中摻入稀土元素或過(guò)渡金屬元素，還可以改善材料的機(jī)電耦合系數(shù)和壓電系數(shù)，實(shí)現(xiàn)更有效的機(jī)械能-電能轉(zhuǎn)換，例如摻鈧（Sc）氮化鋁（AlScN）薄膜可以提高射頻器件的工作效率。并且，氮化鋁壓電薄膜制造工藝可與CMOS工藝兼容，這些都使得氮化鋁壓電薄膜成為當(dāng)前最炙手可熱的壓電薄膜材料之一。本課程詳細(xì)闡述氮化鋁MEMS技術(shù)發(fā)展之路及典型的氮化鋁MEMS器件。
課程提綱：
（1）過(guò)去40年：MEMS平臺(tái)技術(shù)演進(jìn)——從硅到氮化鋁；
（2）過(guò)去20年：氮化鋁MEMS小試牛刀——從諧振器到麥克風(fēng)；
（3）未來(lái)20年：氮化鋁MEMS大展宏圖——從傳感到執(zhí)行；
（4）典型的氮化鋁MEMS器件剖析。
六、師資介紹
高楊，博士，研究員、博導(dǎo)，主要研究方向?yàn)檐娒駜捎梦⑾到y(tǒng)技術(shù)及其應(yīng)用，涉及RF MEMS關(guān)鍵技術(shù)、BAW濾波器及雙工器、BAW傳感器等。2000年畢業(yè)于北京理工大學(xué)電子工程系，獲博士學(xué)位，是李幼平院士（中國(guó)工程院）培養(yǎng)的第一位博士；2004年上海交通大學(xué)電子學(xué)與固態(tài)電子學(xué)專業(yè)在職博士后出站。1996年至2019，在中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所工作，歷任3個(gè)研究室（處級(jí)）的主要領(lǐng)導(dǎo)和所科技委委員。2019，他作為“拔尖人才”被全職引進(jìn)到西南科技大學(xué)，創(chuàng)建了西南科技大學(xué)微系統(tǒng)中心（SWUSTMicrosystem Center）、四川爆米（BAWME）微納科技有限公司。他主持過(guò)裝備型號(hào)/背景型號(hào)/預(yù)研/重大基礎(chǔ)研究項(xiàng)目或子項(xiàng)目，以及863計(jì)劃、國(guó)防基礎(chǔ)研究、國(guó)家自然科學(xué)基金、省部級(jí)重點(diǎn)基金等縱向科研項(xiàng)目20余項(xiàng)；獲部級(jí)一等獎(jiǎng)1項(xiàng)（排名2）、部級(jí)二等獎(jiǎng)1項(xiàng)（排名1）、部級(jí)三等獎(jiǎng)5項(xiàng)（排名1、1、2、3、4）。授權(quán)發(fā)明專利40余項(xiàng)；一作發(fā)表學(xué)術(shù)論文100余篇，其中SCI/EI檢索40余篇；近5年在本專業(yè)重要學(xué)術(shù)會(huì)議做特邀報(bào)告10余次。2019當(dāng)選“第一屆中國(guó)測(cè)試學(xué)術(shù)影響力人物”。
周劍，多次獲得麥姆斯咨詢頒發(fā)的年度講課老師稱號(hào)，博士，岳麓學(xué)者、副教授、博士生導(dǎo)師，英國(guó)愛(ài)丁堡大學(xué)訪問(wèn)學(xué)者，教育部聯(lián)合基金（青年人才）項(xiàng)目和湖南省自然科學(xué)基金優(yōu)秀青年基金獲得者。他長(zhǎng)期從事SAW傳感器和微流控研究，在SAW傳感器和微流控基礎(chǔ)材料加工、芯片設(shè)計(jì)、Comsol仿真、傳感器和微流控測(cè)試等方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。他承擔(dān)了國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目、青年基金、科技委基礎(chǔ)加強(qiáng)基金、教育部聯(lián)合基金、湖南省科技公關(guān)項(xiàng)目、湖南省重點(diǎn)研發(fā)子課題、廣東省重點(diǎn)研發(fā)子課題等十余個(gè)項(xiàng)目。在Nano Letters、ACS AMI、ACS sensors、IEEE TMI、APL等發(fā)表了SCI/EI論文60余篇，被引次數(shù)約1000次，授權(quán)發(fā)明專利10余項(xiàng)。他還曾獲湖南省儀器儀表學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)、中國(guó)中車科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)、校優(yōu)秀教師新人獎(jiǎng)、校教學(xué)比賽二等獎(jiǎng)。
徐甲強(qiáng)，博士，上海大學(xué)教授、博士生導(dǎo)師、理學(xué)院副院長(zhǎng)。他于2003年獲得河南省杰出青年科學(xué)基金資助，入選由斯坦福大學(xué)和愛(ài)思維爾集團(tuán)發(fā)布的1960-2019終身科學(xué)影響力排行榜，2019分析化學(xué)前2%頂尖科學(xué)家。1985年畢業(yè)于鄭州大學(xué)化學(xué)系，獲理學(xué)學(xué)士學(xué)位；1988年畢業(yè)于中國(guó)科技大學(xué)，獲無(wú)機(jī)化學(xué)理學(xué)碩士學(xué)位；2005年畢業(yè)于上海大學(xué)，獲材料學(xué)工學(xué)博士學(xué)位。他長(zhǎng)期從事納米結(jié)構(gòu)材料的設(shè)計(jì)、制備及其在能源存儲(chǔ)轉(zhuǎn)換材料與器件、化學(xué)與生物傳感器等領(lǐng)域的研究工作。研究項(xiàng)目“金屬氧化物氣敏材料的微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、可控制備及其增敏機(jī)理研究”獲2015年上海市自然科學(xué)二等獎(jiǎng)；“碳纖維自行車整體車架研制開(kāi)發(fā)”、“催化劑在半導(dǎo)體氣敏材料中的應(yīng)用”和“氧化錫氣敏粉體的制備及其應(yīng)用研究”等5項(xiàng)成果分別獲河南省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)和三等獎(jiǎng)。他擁有發(fā)明專利25項(xiàng)，發(fā)表SCI論文300篇，先后入選ESI高被引論文15篇，總被引次數(shù)10200，H指數(shù)57。現(xiàn)主持1項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目課題“硅基晶圓級(jí)氣敏薄膜制備與熱學(xué)特性測(cè)試”、1項(xiàng)國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目“PdM雙金屬納米晶的可控合成及其對(duì)金屬氧化物氣敏材料的多重增敏機(jī)理研究”；副主持1項(xiàng)國(guó)家重大科研儀器研制項(xiàng)目“基于微納諧振敏感效應(yīng)的界面分子作用熱力學(xué)/動(dòng)力學(xué)參數(shù)提取與材料特性評(píng)估裝置”和1項(xiàng)國(guó)家自然科學(xué)基金-河南省聯(lián)合基金重點(diǎn)項(xiàng)目“煤礦瓦斯檢測(cè)用新型氧化物半導(dǎo)體氣敏材料構(gòu)筑及性能調(diào)控”；參與2017年國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃新能源汽車燃料電池和超級(jí)電容器項(xiàng)目2項(xiàng)；與上海卡耐能源有限公司、上海奧威科技發(fā)展有限公司和上海搖擼儀器有限公司分別在鋰離子電池、超級(jí)電容器和呼吸氣檢測(cè)等領(lǐng)域開(kāi)展了緊密合作，以推進(jìn)科技成果的產(chǎn)業(yè)化。
周志勇，博士，中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所研究員。2007年，博士畢業(yè)于中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所；2008~2009年，赴德國(guó)于立希研究中心固態(tài)研究所擔(dān)任洪堡訪問(wèn)學(xué)者；2009~2012年，赴英國(guó)紐卡斯?fàn)柎髮W(xué)擔(dān)任助理研究員；2012年回到中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所先后擔(dān)任副研究員、研究員。他主要研究方向是高溫壓電材料（陶瓷和薄膜）結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、性能調(diào)控和服役穩(wěn)定性及高溫工程應(yīng)用。他作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人承擔(dān)了國(guó)家自然科學(xué)基金、上海市自然科學(xué)基金、軍委科技委、裝備發(fā)展部預(yù)研、中科院STS區(qū)域重點(diǎn)項(xiàng)目和儀器裝備研制項(xiàng)目等多項(xiàng)科研任務(wù)。他在J. Mater. Chem. C、Appl. Phys. Lett.、J. Am. Ceram. Soc.等期刊發(fā)表SCI論文80余篇，其中第一作者或者通訊作者論文30篇，申請(qǐng)中國(guó)發(fā)明專利24項(xiàng)，授權(quán)13項(xiàng)。他曾獲2014年度上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)。
劉文娟，博士，武漢大學(xué)工業(yè)科學(xué)研究院講師，博士畢業(yè)于復(fù)旦大學(xué)專用集成電路與系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。她的研究方向?yàn)閴弘奙EMS器件及應(yīng)用，主要從事壓電MEMS聲學(xué)傳感器設(shè)計(jì)與制備、氮化鋁/摻鈧氮化鋁薄膜生長(zhǎng)、高分辨率超聲成像系統(tǒng)等研究。她在IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control、IEEE Sensors Journal、IEEE IUS等著名國(guó)際期刊及高水平國(guó)際會(huì)議上發(fā)表論文10余篇，申請(qǐng)及授權(quán)中國(guó)發(fā)明專利共3項(xiàng)，參與包括國(guó)家科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)基金以及重要企業(yè)資助等科研項(xiàng)目共5項(xiàng)。
余洪斌，多次獲得麥姆斯咨詢頒發(fā)的年度講課老師稱號(hào)，博士，華中科技大學(xué)教授（楚天學(xué)者特聘教授）。他2005年畢業(yè)于華中科技大學(xué)獲光學(xué)工程博士學(xué)位，隨后赴新加坡國(guó)立大學(xué)從事微電子（光電子）機(jī)械系統(tǒng)（MEMS/MOEMS）技術(shù)領(lǐng)域的研究工作，歷任研究員和高級(jí)研究員。他曾為新加坡科技局微電子研究院研究員、項(xiàng)目負(fù)責(zé)人（PI），同時(shí)擔(dān)任新加坡國(guó)立大學(xué)機(jī)械工程系客座助理教授。他一直從事基于MEMS/MOEMS技術(shù)新型功能器件（諸如微型掃描儀、微型光譜儀、微型摩擦測(cè)量?jī)x、微型可調(diào)光闌、可變焦透鏡及微型超聲波器件等）的設(shè)計(jì)、制備工藝、封裝測(cè)試及其系統(tǒng)應(yīng)用方面的研究工作，同時(shí)也開(kāi)展新型光學(xué)儀器和光學(xué)檢測(cè)技術(shù)方面的研究。近年在Applied Physics Letters、Optics Express、Optics Letters、Sensors and Actuators B、IEEE Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Journal of selected topic on quantum electronics及Journal of Micromechanics and Microengineering等相關(guān)領(lǐng)域的國(guó)際、國(guó)內(nèi)核心期刊上發(fā)表論文80余篇，撰寫書本章節(jié)并多次在相關(guān)領(lǐng)域國(guó)際會(huì)議上宣講研究成果。作為核心成員申請(qǐng)和獲授權(quán)國(guó)內(nèi)、國(guó)際專利15項(xiàng)（8項(xiàng)中國(guó)專利、7項(xiàng)美國(guó)專利），其中兩項(xiàng)專利成功獲得商業(yè)轉(zhuǎn)讓，現(xiàn)正進(jìn)行相關(guān)產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)。同時(shí)，他長(zhǎng)期擔(dān)任十余種國(guó)內(nèi)、國(guó)際期刊的特邀審稿人，作為主要負(fù)責(zé)人成功獲得國(guó)家自然科學(xué)基金資助，主持或參與多個(gè)研究項(xiàng)目，包括國(guó)家自然科學(xué)基金、新加坡教育部基金、新加坡國(guó)家研究基金、新加坡科技局項(xiàng)目。
唐瑞濤，浙江清華柔性電子技術(shù)研究院副研究員，博士畢業(yè)于中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)。畢業(yè)后入職浙江清華柔性電子技術(shù)研究院，主要從事壓電式薄膜壓力傳感器的研發(fā)工作，研究方向包括聚合物壓電薄膜材料制備、壓電薄膜極化工藝、薄膜傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、性能表征測(cè)試方法及定量化理論。他主持設(shè)計(jì)完成的壓電薄膜傳感系統(tǒng)能夠應(yīng)對(duì)多種復(fù)雜應(yīng)用場(chǎng)景，性能遠(yuǎn)超同類型的壓電薄膜傳感器。他主持參與多項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)加強(qiáng)項(xiàng)目、國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目以及浙江省自然科學(xué)基金等，在相關(guān)領(lǐng)域發(fā)表論文15篇，申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利20余項(xiàng)，參與制定柔性電子器件可靠性標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)。
歐陽(yáng)俊，博士，齊魯工業(yè)大學(xué)教授，“新能源材料化學(xué)與功能器件”科研團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人，教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才，山東省“惠才卡”專家和省級(jí)領(lǐng)軍人才。1999年在清華大學(xué)獲得學(xué)士學(xué)位，師從清華大學(xué)陶瓷國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任潘偉教授；2005年在美國(guó)馬里蘭大學(xué)獲得材料科學(xué)與工程博士學(xué)位（鐵電/壓電材料方向，師從美國(guó)工程院院士R.Ramesh教授和鐵性疇理論專家Royburd教授）。2005年6月至2010年4月在美國(guó)希捷科技（SeagateTechnology）任職，先后擔(dān)任電子設(shè)計(jì)高級(jí)工程師和電子材料研發(fā)主管工程師。2010年4月至201912月在山東大學(xué)材料學(xué)院擔(dān)任教授和博士生導(dǎo)師。目前，他還擔(dān)任中國(guó)硅酸鹽學(xué)會(huì)特種陶瓷分會(huì)理事和山東硅酸鹽學(xué)會(huì)電子陶瓷專家委員會(huì)常務(wù)委員，Journal of Advanced Ceramics期刊編委。他曾擔(dān)任中國(guó)真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)理事、山東省清華校友會(huì)副秘書長(zhǎng)、第十二屆先進(jìn)陶瓷國(guó)際會(huì)議介電和鐵電儲(chǔ)能分會(huì)主席。
吳國(guó)強(qiáng)，多次獲得麥姆斯咨詢頒發(fā)的年度講課老師稱號(hào)，博士，武漢大學(xué)青年學(xué)術(shù)帶頭人、教授、博士生導(dǎo)師，主要從事MEMS諧振器和振蕩器、壓電聲學(xué)MEMS傳感器、MEMS慣性傳感器的研究工作。他2013年從中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所獲得工學(xué)博士學(xué)位，曾擔(dān)任中航工業(yè)自控所慣性MEMS傳感器研發(fā)工程師，以及新加坡科技局微電子研究院研究員。作為獨(dú)立項(xiàng)目負(fù)責(zé)人主持含國(guó)家自然科學(xué)基金、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題、企業(yè)資助技術(shù)開(kāi)發(fā)等多項(xiàng)科研項(xiàng)目。近年來(lái)在JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、IEEE TED等領(lǐng)域主流期刊上發(fā)表學(xué)術(shù)論文60余篇，申請(qǐng)國(guó)內(nèi)專利40余項(xiàng)。
杜亦佳，博士，烏鎮(zhèn)實(shí)驗(yàn)室研究員。2013年至2015年在中物院無(wú)線電物理博士后流動(dòng)站進(jìn)行博士后工作，與德國(guó)IHP聯(lián)合開(kāi)展MEMS微執(zhí)行器研究；2015年至2021年，在中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所微系統(tǒng)與太赫茲研究中心從事壓電微執(zhí)行器技術(shù)研究；2021年起，在烏鎮(zhèn)實(shí)驗(yàn)室從事基于先進(jìn)壓電薄膜的MEMS器件研究。她先后主持與參與了各類國(guó)家項(xiàng)目、國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目、青年基金、中國(guó)博士后科學(xué)基金等科研項(xiàng)目。近年來(lái)，她已經(jīng)在國(guó)際權(quán)威期刊JACS、IEEE J MEMS、SENSOR ACTUAT A-PHYS、IEEE T NUCL SCI等發(fā)表了多篇學(xué)術(shù)論文。
張孟倫，工學(xué)博士，天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院助理教授、碩士生導(dǎo)師，英國(guó)劍橋大學(xué)訪問(wèn)學(xué)者。他專注MEMS領(lǐng)域研究十余年，研究領(lǐng)域覆蓋各類聲學(xué)MEMS器件，包括麥克風(fēng)、揚(yáng)聲器、超聲換能器及頻率器件等。在壓電MEMS方向以第一作者/通訊作者身份發(fā)表國(guó)際學(xué)術(shù)論文40余篇（JMEMS、Microsyst Nanoeng、TUFFC、JMM、EDL、APL、Small、PRA、B&B、ACS Sensors、ACS AMI、Analyst等），并將研究成果出版英文專著章節(jié)；在MEMS領(lǐng)域申請(qǐng)和授權(quán)國(guó)內(nèi)外發(fā)明專利150余項(xiàng)。他多次受邀參加國(guó)際學(xué)術(shù)會(huì)議并作報(bào)告，近5年來(lái)先后赴9個(gè)國(guó)家和地區(qū)在多場(chǎng)MEMS領(lǐng)域會(huì)議上（IEEEMEMS、Transducers、Sensors、NEMS等）作報(bào)告；擔(dān)任Nanotechnology and Precision Engineering等國(guó)際學(xué)術(shù)期刊編輯。
七、培訓(xùn)費(fèi)用和報(bào)名方式咨詢
請(qǐng)發(fā)送電子郵件至[email protected]，郵件題目格式為：報(bào)名+壓電MEMS與傳感器培訓(xùn)+單位簡(jiǎn)稱+人數(shù)。
報(bào)名網(wǎng)站：https://www.memstraining.com/training_43.html
麥姆斯咨詢
聯(lián)系人：畢女士
E-mail：BISainan#http://MEMSConsulting.com（#換成@）
協(xié)辦單位：上海傳感信息科技有限公司
一、課程簡(jiǎn)介
2022年新冠疫情仍伴隨著我們，MEMS產(chǎn)業(yè)鏈也面臨著種種挑戰(zhàn)。但是，以壓電MEMS為代表的新技術(shù)進(jìn)入黃金發(fā)展期，燃起業(yè)界對(duì)未來(lái)的希望——基于壓電MEMS的新器件層出不窮，推動(dòng)MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)向前發(fā)展，賦能萬(wàn)物互聯(lián)的智能化應(yīng)用。為此，全球MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的兩大IDM巨頭——博世（Bosch）和意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics）積極參與其中，對(duì)外提供壓電MEMS研發(fā)及代工服務(wù)，確保新產(chǎn)品的量產(chǎn)能力和可靠性。
意法半導(dǎo)體全球首創(chuàng)“Lab-in-Fab”概念，構(gòu)建8英寸壓電MEMS研發(fā)線
在國(guó)內(nèi)方面，國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心、上海微技術(shù)工研院和蘇州納米城MEMS中試平臺(tái)都發(fā)布了壓電MEMS工藝能力，投身于新技術(shù)培育孵化和多功能產(chǎn)品定義。中芯集成、中芯寧波、賽微電子等MEMS代工廠主要在濾波器領(lǐng)域展開(kāi)布局。2021年，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專項(xiàng)項(xiàng)目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”的項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)在天津召開(kāi)，對(duì)實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國(guó)目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，具有重要而深遠(yuǎn)的意義。
壓電器件類型：塊體型（Bulk）、厚膜型（Thick Film）、薄膜型（Thin Film）（來(lái)源：ULVAC）
隨著先進(jìn)材料和MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展，以鋯鈦酸鉛（PZT）和氮化鋁（AlN）為代表的薄膜型壓電材料的制備越來(lái)越成熟。薄膜型壓電器件可利用MEMS代工廠，開(kāi)發(fā)與CMOS兼容的量產(chǎn)工藝，從而改變傳統(tǒng)壓電器件“體積大、功耗高、批量生產(chǎn)能力低、價(jià)格貴”的形象，對(duì)消費(fèi)類應(yīng)用領(lǐng)域來(lái)講極具吸引力！在薄膜型壓電器件中，體聲波濾波器（BAW）是當(dāng)前的最大功臣，占據(jù)最大的市場(chǎng)份額；其它產(chǎn)品，例如超聲波換能器、揚(yáng)聲器、麥克風(fēng)、慣性傳感器、微鏡，也在不斷探索新應(yīng)用，以期挖掘高價(jià)值的藍(lán)海市場(chǎng)。
在壓電執(zhí)行器方面，USound于2022年發(fā)布新款壓電式MEMS揚(yáng)聲器，適用于兼容磁共振成像（MRI）的耳機(jī)及配件；xMEMS于2021年推出多款單芯片壓電MEMS揚(yáng)聲器，例如Cowell主要面向TWS耳機(jī)和助聽(tīng)器應(yīng)用，而Tomales主攻智能眼鏡和AR/VR頭戴式設(shè)備應(yīng)用；Piezo Motion于2021年宣布全球首創(chuàng)一款新型壓電微劑量泵（超精密旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)+微型注射器），能夠?yàn)樯茖W(xué)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備提供精確的微流體控制；富士膠片于2021年發(fā)布硅基MEMS壓電噴墨打印系統(tǒng)X-BAR，集成的打印頭基于濺射法制備的壓電陶瓷薄膜，可以實(shí)現(xiàn)數(shù)萬(wàn)億次執(zhí)行的長(zhǎng)壽命。
典型的壓電MEMS執(zhí)行器
在壓電傳感器方面，Vesper于2022年發(fā)布第二代智能壓電語(yǔ)音加速度計(jì)VA1210，提供更高的靈敏度和信噪比，并且集成語(yǔ)音喚醒等新功能；能斯達(dá)電子于2022年宣布?jí)鹤枧c壓電二合一的復(fù)合柔性微納傳感器的研發(fā)成功，該產(chǎn)品能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)和靜態(tài)力學(xué)信號(hào)的寬范圍、高靈敏檢測(cè)；茂丞科技于2021年推出芯片級(jí)壓電超聲波換能器JMS922，以及應(yīng)用于電子煙油質(zhì)量與液位檢測(cè)的ToF解決方案；imec于2021年展示一款基于壓電超聲波換能器的超聲探頭，并實(shí)現(xiàn)動(dòng)脈硬化檢測(cè)以及血壓監(jiān)測(cè)的概念驗(yàn)證。
典型的壓電MEMS傳感器
為了助力中國(guó)壓電MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，麥姆斯咨詢從2019起每年都會(huì)甄選市場(chǎng)熱點(diǎn)與技術(shù)重點(diǎn)，量身定制相關(guān)主題的培訓(xùn)課程。2022年，麥姆斯咨詢從壓電傳感器和壓電執(zhí)行器兩方面出發(fā)，策劃課程內(nèi)容涵蓋：（1）BAW濾波器和BAW傳感器；（2）SAW傳感器和SAW微流控；（3）石英晶體微天平傳感器；（4）高溫壓電陶瓷材料及其在振動(dòng)傳感器中的應(yīng)用；（5）壓電MEMS聲學(xué)傳感器；（6）壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡；（7）柔性壓電式壓力傳感器；（8）BiFeO3壓電薄膜及MEMS器件應(yīng)用；（9）壓電MEMS諧振器與振蕩器；（10）壓電MEMS微執(zhí)行器技術(shù)研究進(jìn)展；（11）氮化鋁MEMS大有可為。
二、培訓(xùn)對(duì)象
本課程主要面向壓電MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)的技術(shù)人員和管理人員，以及高校師生，同時(shí)也歡迎其他希望了解壓電MEMS與傳感器的非技術(shù)背景人員參加，如銷售和市場(chǎng)人員、投融資機(jī)構(gòu)人員、政府管理人員等。
三、培訓(xùn)時(shí)間
2022年6月24日~6月26日
授課結(jié)束后，為學(xué)員頒發(fā)麥姆斯咨詢的結(jié)業(yè)證書。
四、培訓(xùn)方式
原計(jì)劃線下舉辦，因?yàn)橐咔橛绊懜臑榫€上直播課程和答疑。
五、課程內(nèi)容
課程一：BAW濾波器和BAW傳感器
老師：西南科技大學(xué) 研究員 高楊
BAW濾波器和BAW傳感器的基本構(gòu)件是基于MEMS技術(shù)的諧振器，主要包括FBAR和BAW-SMR兩大類。BAW濾波器因具有低插入損耗和高Q值成為高性能5G射頻前端系統(tǒng)的首選，吸引眾多海歸專家與本土人才投身創(chuàng)業(yè)大潮。BAW傳感器通過(guò)檢測(cè)諧振器的諧振頻率變化得到待測(cè)物理量，具有靈敏度高、工作頻率高等優(yōu)點(diǎn)。本課程從壓電材料體系出發(fā)，詳細(xì)介紹BAW諧振器及濾波器、BAW壓力傳感器及讀出電路的核心技術(shù)。
課程提綱：
（1）壓電材料體系綜述；
（2）BAW諧振器及濾波器設(shè)計(jì)與制造；
（3）BAW濾波器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)；
（4）BAW壓力傳感器設(shè)計(jì)與制造；
（5）BAW壓力傳感器讀出電路設(shè)計(jì)；
（6）BAW技術(shù)創(chuàng)新與挑戰(zhàn)。
課程二：SAW傳感器和SAW微流控
老師：岳麓學(xué)者、博士生導(dǎo)師 周劍
SAW器件的聲波傳播能量主要集中在固體表面，當(dāng)固體表面受到外界的刺激（力、電、磁、熱）時(shí)，聲波波速變化，導(dǎo)致諧振頻率變化，通過(guò)探測(cè)頻率偏移，實(shí)現(xiàn)對(duì)外界參量（如溫度、粘度、氣體濃度、曲度）的探測(cè)。而通過(guò)在一次性芯片表面上圖案化的微結(jié)構(gòu)來(lái)控制表面聲波與微流體之間的相互作用，以隨頻率變化的特定方式來(lái)形成聲波，在許多生物和醫(yī)療應(yīng)用中具有巨大的前景。本課程將為學(xué)員們講解SAW傳感器和SAW微流控的核心技術(shù)和典型應(yīng)用。
課程提綱：
（1）SAW基本概念、內(nèi)涵；
（2）SAW傳感器原理和無(wú)線無(wú)源監(jiān)測(cè)；
（3）SAW傳感器的制備和封裝工藝；
（4）柔性SAW、透明SAW、超高頻SAW前沿進(jìn)展；
（5）SAW傳感器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀和主要廠商；
（6）SAW微流控原理和應(yīng)用：聲線、粒子集聚、微泵和霧化；
（7）SAW微流控產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀。
課程三：石英晶體微天平傳感器
老師：上海大學(xué) 教授 徐甲強(qiáng)
石英晶體微天平（QCM）利用石英晶體的壓電效應(yīng)，將電極表面的質(zhì)量變化轉(zhuǎn)化為振蕩電路輸出的電信號(hào)頻率變化，進(jìn)而再通過(guò)處理電路獲得高精度的數(shù)據(jù)，在微量及痕量物質(zhì)檢測(cè)方面具有優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于化學(xué)、物理、生物和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域。此外，根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求，還可以在電極上選擇性地鍍膜來(lái)進(jìn)一步拓展檢測(cè)領(lǐng)域。本課程詳細(xì)講解石英晶體微天平技術(shù)及應(yīng)用，重點(diǎn)在于氣體和濕度傳感器設(shè)計(jì)與制造。
課程提綱：
（1）石英晶體微天平概念及工作原理；
（2）石英晶體微天平應(yīng)用進(jìn)展；
（3）基于石英晶體微天平的甲醛傳感器設(shè)計(jì)與制造；
（4）基于石英晶體微天平的濕度傳感器設(shè)計(jì)與制造；
（5）石英晶體微天平傳感器技術(shù)展望。
課程四：高溫壓電陶瓷材料及其在振動(dòng)傳感器中的應(yīng)用
老師：中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 研究員 周志勇
壓電式振動(dòng)傳感器主要用于發(fā)動(dòng)機(jī)和燃?xì)廨啓C(jī)的振動(dòng)監(jiān)測(cè)和分析，尤其是航空發(fā)動(dòng)機(jī)健康管理系統(tǒng)的關(guān)鍵感知器件。但是在航空發(fā)電機(jī)應(yīng)用中，嚴(yán)苛的環(huán)境（例如高溫、高轉(zhuǎn)速、復(fù)雜振動(dòng)）對(duì)壓電式振動(dòng)傳感器核心敏感元件（高溫壓電陶瓷）的服役性和穩(wěn)定性提出了新的挑戰(zhàn)。本課程主要介紹壓電式振動(dòng)傳感器的國(guó)內(nèi)外進(jìn)展，并講解高溫壓電陶瓷材料各方面知識(shí)，以期為國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)品研究及產(chǎn)業(yè)化提供一定的技術(shù)支撐。
課程提綱：
（1）高溫壓電式振動(dòng)傳感器的國(guó)內(nèi)外進(jìn)展；
（2）高溫壓電陶瓷材料體系及國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品情況；
（3）高溫壓電陶瓷材料結(jié)構(gòu)與靜態(tài)性能調(diào)控和改善；
（4）高溫壓電陶瓷材料動(dòng)態(tài)性能評(píng)測(cè)方法和技術(shù)；
（5）高溫壓電陶瓷材料面臨的挑戰(zhàn)及應(yīng)用展望。
課程五：壓電MEMS聲學(xué)傳感器
老師：武漢大學(xué) 講師 劉文娟
近些年，壓電MEMS技術(shù)在聲學(xué)傳感領(lǐng)域發(fā)展迅速，典型應(yīng)用包括麥克風(fēng)、超聲換能器、水聽(tīng)器等。以壓電薄膜替代傳統(tǒng)電容結(jié)構(gòu)的壓電MEMS麥克風(fēng)的主要優(yōu)點(diǎn)包括：（1）高可靠性，防水防塵性能優(yōu)秀；（2）無(wú)需電荷泵，降低語(yǔ)音喚醒和始終在線的功耗；（3）更快的響應(yīng)速度，減少語(yǔ)音交互延遲；（4）高聲學(xué)過(guò)載點(diǎn)（AOP），可用于嘈雜或工業(yè)環(huán)境。本課程從壓電薄膜生長(zhǎng)到壓電器件設(shè)計(jì)與制造，講解麥克風(fēng)和超聲換能器兩大熱門產(chǎn)品。
課程提綱：
（1）壓電MEMS聲學(xué)傳感器概述；
（2）氮化鋁/摻鈧氮化鋁薄膜生長(zhǎng)與器件制備；
（3）壓電MEMS超聲換能器（PMUT）設(shè)計(jì)與制造；
（4）壓電MEMS麥克風(fēng)設(shè)計(jì)與制造；
（5）基于PMUT的高分辨率超聲成像系統(tǒng)展望。
課程六：壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡
老師：華中科技大學(xué) 教授 余洪斌
MEMS微鏡指采用MEMS制造技術(shù)，把微光反射鏡與MEMS驅(qū)動(dòng)器集成在一起的光學(xué)器件，在激光雷達(dá)、3D攝像頭、微家用投影儀、汽車智能前燈、光通信等應(yīng)用扮演著重要角色。MEMS變形鏡是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵元件，對(duì)波前像差的擬合能力決定了自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的校正性能。本課程詳解基于氮化鋁（AIN）的MEMS微鏡和MEMS變形鏡技術(shù)及未來(lái)發(fā)展。
課程提綱：
（1）MEMS微鏡基本概念及驅(qū)動(dòng)技術(shù)（壓電驅(qū)動(dòng)、靜電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng)、電熱驅(qū)動(dòng)）特性分析；
（2）壓電MEMS微鏡技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及其面臨的問(wèn)題和解決方案；
（3）壓電MEMS微鏡器件設(shè)計(jì)和制造實(shí)例；
（4）自適應(yīng)光學(xué)基本概念和工作原理；
（5）壓電MEMS變形鏡技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及其面臨的問(wèn)題和解決方案；
（6）壓電MEMS變形鏡器件設(shè)計(jì)和制造實(shí)例。
課程七：柔性壓電式壓力傳感器
老師：浙江清華柔性電子技術(shù)研究院 副研究員 唐瑞濤
隨著材料科學(xué)、柔性電子和微納技術(shù)的發(fā)展，各種柔性壓力傳感器應(yīng)運(yùn)而生，它們通常由兩層柔性電極和中間的功能軟材料構(gòu)成，具有可彎曲、可變形的特點(diǎn)。聚偏二氟乙烯（PVDF）是一種有機(jī)壓電聚合物，可用于柔性壓力傳感器、超聲波指紋識(shí)別傳感器等。基于PVDF的柔性壓力傳感器在智能觸覺(jué)、健康監(jiān)測(cè)、生物醫(yī)療、人機(jī)交互等領(lǐng)域具有應(yīng)用潛力。本課程針對(duì)柔性壓電式壓力傳感器進(jìn)行詳細(xì)剖析，并對(duì)未來(lái)技術(shù)發(fā)展進(jìn)行展望。
課程提綱：
（1）柔性壓電材料介紹；
（2）PVDF壓電薄膜及其性能；
（3）柔性壓電式壓力傳感器設(shè)計(jì)；
（4）柔性壓電式壓力傳感器制造；
（5）柔性壓電式壓力傳感器測(cè)試；
（6）柔性壓電式壓力傳感器技術(shù)展望。
課程八：BiFeO?壓電薄膜及MEMS器件應(yīng)用
老師：齊魯工業(yè)大學(xué) 教授 歐陽(yáng)俊
近年來(lái)，隨著MEMS、傳感器及隨機(jī)存儲(chǔ)器等行業(yè)的迅速發(fā)展，具備優(yōu)異的鐵電和壓電性能的薄膜材料已經(jīng)成為研究領(lǐng)域的熱點(diǎn)之一。目前，鉛系材料仍然是應(yīng)用于這些領(lǐng)域的主體材料，但是其在制備和使用的過(guò)程中會(huì)對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重的污染問(wèn)題。因此，尋找一種無(wú)鉛且性能優(yōu)越的材料成為大勢(shì)所趨。BiFeO?薄膜因其優(yōu)異的鐵電和壓電性能而受到人們的廣泛關(guān)注，成為可以與鉛系材料相媲美的一類無(wú)鉛鐵電環(huán)保材料。本課程詳細(xì)講解BiFeO?薄膜材料性質(zhì)、制備與表征方法，以及基于BiFeO?薄膜的MEMS器件。
課程提綱：
（1）BiFeO?材料介紹；
（2）BiFeO?薄膜制備及表征方法；
（3）基于BiFeO?壓電薄膜的MEMS器件原型及表征；
（4）BiFeO?壓電薄膜的性能調(diào)控；
（5）BiFeO?壓電薄膜技術(shù)發(fā)展及應(yīng)用展望。
課程九：壓電MEMS諧振器與振蕩器
老師：武漢大學(xué) 教授 吳國(guó)強(qiáng)
時(shí)鐘器件是電子電路設(shè)備的心臟，提供時(shí)間參考和頻率基準(zhǔn)。MEMS時(shí)鐘器件（例如MEMS振蕩器）是MEMS細(xì)分市場(chǎng)增速領(lǐng)先的產(chǎn)品。相比傳統(tǒng)的石英晶體振蕩器，壓電MEMS振蕩器具有小尺寸、高可靠性、低功耗和可編程等優(yōu)勢(shì)，在可穿戴設(shè)備、物聯(lián)網(wǎng)、智能手機(jī)和汽車等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。本課程講授MEMS諧振器與振蕩器基礎(chǔ)知識(shí)、設(shè)計(jì)理論、系統(tǒng)應(yīng)用以及產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵技術(shù)。
課程提綱：
（1）MEMS諧振器、振蕩器及時(shí)鐘概念、原理及分類；
（2）MEMS時(shí)鐘器件產(chǎn)業(yè)情況及主要廠商；
（3）壓電MEMS諧振器設(shè)計(jì)理論；
（4）壓電MEMS諧振器關(guān)鍵技術(shù)；
（5）壓電MEMS諧振器與振蕩器設(shè)計(jì)、制造及測(cè)試。
課程十：壓電MEMS微執(zhí)行器技術(shù)研究進(jìn)展
老師：烏鎮(zhèn)實(shí)驗(yàn)室 研究員 杜亦佳
壓電MEMS通過(guò)單片集成形式即可實(shí)現(xiàn)執(zhí)行、傳感、能量收集和無(wú)線通信，是應(yīng)用潛力巨大的熱點(diǎn)技術(shù)。壓電MEMS微執(zhí)行器能夠精確、自主地執(zhí)行復(fù)雜動(dòng)作如直線、旋轉(zhuǎn)、加速度、鉗動(dòng)等，以此完成對(duì)極微小器件與結(jié)構(gòu)的納米尺度精確操作。因此，壓電MEMS微執(zhí)行器不但能夠滿足集成微系統(tǒng)（IMS）對(duì)自測(cè)試性、微定位性和片上操控性的嚴(yán)苛要求，同時(shí)能夠滿足集成微系統(tǒng)對(duì)輸出力矩/體積效能比、響應(yīng)速度、分辨率、功耗、集成度方面的需求。通過(guò)本課程的學(xué)習(xí)，您可以全面了解壓電MEMS微執(zhí)行器技術(shù)及應(yīng)用。
課程提綱：
（1）壓電MEMS微執(zhí)行器基本概念和工作原理；
（2）壓電MEMS微執(zhí)行器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；
（3）壓電MEMS微執(zhí)行器制造工藝；
（4）基于KNN薄膜的壓電MEMS換能器設(shè)計(jì)與制造；
（5）壓電MEMS微執(zhí)行器應(yīng)用領(lǐng)域及發(fā)展趨勢(shì)。
課程十一：氮化鋁MEMS大有可為
老師：天津大學(xué) 助理教授 張孟倫
氮化鋁（AlN）壓電薄膜作為一種重要的III-V族化合物材料，具有高聲波速、高壓電性以及良好的化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)，在傳感器、高頻聲波諧振器及濾波器等領(lǐng)域備受關(guān)注。通過(guò)在氮化鋁中摻入稀土元素或過(guò)渡金屬元素，還可以改善材料的機(jī)電耦合系數(shù)和壓電系數(shù)，實(shí)現(xiàn)更有效的機(jī)械能-電能轉(zhuǎn)換，例如摻鈧（Sc）氮化鋁（AlScN）薄膜可以提高射頻器件的工作效率。并且，氮化鋁壓電薄膜制造工藝可與CMOS工藝兼容，這些都使得氮化鋁壓電薄膜成為當(dāng)前最炙手可熱的壓電薄膜材料之一。本課程詳細(xì)闡述氮化鋁MEMS技術(shù)發(fā)展之路及典型的氮化鋁MEMS器件。
課程提綱：
（1）過(guò)去40年：MEMS平臺(tái)技術(shù)演進(jìn)——從硅到氮化鋁；
（2）過(guò)去20年：氮化鋁MEMS小試牛刀——從諧振器到麥克風(fēng)；
（3）未來(lái)20年：氮化鋁MEMS大展宏圖——從傳感到執(zhí)行；
（4）典型的氮化鋁MEMS器件剖析。
六、師資介紹
高楊，博士，研究員、博導(dǎo)，主要研究方向?yàn)檐娒駜捎梦⑾到y(tǒng)技術(shù)及其應(yīng)用，涉及RF MEMS關(guān)鍵技術(shù)、BAW濾波器及雙工器、BAW傳感器等。2000年畢業(yè)于北京理工大學(xué)電子工程系，獲博士學(xué)位，是李幼平院士（中國(guó)工程院）培養(yǎng)的第一位博士；2004年上海交通大學(xué)電子學(xué)與固態(tài)電子學(xué)專業(yè)在職博士后出站。1996年至2019，在中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所工作，歷任3個(gè)研究室（處級(jí)）的主要領(lǐng)導(dǎo)和所科技委委員。2019，他作為“拔尖人才”被全職引進(jìn)到西南科技大學(xué)，創(chuàng)建了西南科技大學(xué)微系統(tǒng)中心（SWUSTMicrosystem Center）、四川爆米（BAWME）微納科技有限公司。他主持過(guò)裝備型號(hào)/背景型號(hào)/預(yù)研/重大基礎(chǔ)研究項(xiàng)目或子項(xiàng)目，以及863計(jì)劃、國(guó)防基礎(chǔ)研究、國(guó)家自然科學(xué)基金、省部級(jí)重點(diǎn)基金等縱向科研項(xiàng)目20余項(xiàng)；獲部級(jí)一等獎(jiǎng)1項(xiàng)（排名2）、部級(jí)二等獎(jiǎng)1項(xiàng)（排名1）、部級(jí)三等獎(jiǎng)5項(xiàng)（排名1、1、2、3、4）。授權(quán)發(fā)明專利40余項(xiàng)；一作發(fā)表學(xué)術(shù)論文100余篇，其中SCI/EI檢索40余篇；近5年在本專業(yè)重要學(xué)術(shù)會(huì)議做特邀報(bào)告10余次。2019當(dāng)選“第一屆中國(guó)測(cè)試學(xué)術(shù)影響力人物”。
周劍，多次獲得麥姆斯咨詢頒發(fā)的年度講課老師稱號(hào)，博士，岳麓學(xué)者、副教授、博士生導(dǎo)師，英國(guó)愛(ài)丁堡大學(xué)訪問(wèn)學(xué)者，教育部聯(lián)合基金（青年人才）項(xiàng)目和湖南省自然科學(xué)基金優(yōu)秀青年基金獲得者。他長(zhǎng)期從事SAW傳感器和微流控研究，在SAW傳感器和微流控基礎(chǔ)材料加工、芯片設(shè)計(jì)、Comsol仿真、傳感器和微流控測(cè)試等方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。他承擔(dān)了國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目、青年基金、科技委基礎(chǔ)加強(qiáng)基金、教育部聯(lián)合基金、湖南省科技公關(guān)項(xiàng)目、湖南省重點(diǎn)研發(fā)子課題、廣東省重點(diǎn)研發(fā)子課題等十余個(gè)項(xiàng)目。在Nano Letters、ACS AMI、ACS sensors、IEEE TMI、APL等發(fā)表了SCI/EI論文60余篇，被引次數(shù)約1000次，授權(quán)發(fā)明專利10余項(xiàng)。他還曾獲湖南省儀器儀表學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)、中國(guó)中車科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)、校優(yōu)秀教師新人獎(jiǎng)、校教學(xué)比賽二等獎(jiǎng)。
徐甲強(qiáng)，博士，上海大學(xué)教授、博士生導(dǎo)師、理學(xué)院副院長(zhǎng)。他于2003年獲得河南省杰出青年科學(xué)基金資助，入選由斯坦福大學(xué)和愛(ài)思維爾集團(tuán)發(fā)布的1960-2019終身科學(xué)影響力排行榜，2019分析化學(xué)前2%頂尖科學(xué)家。1985年畢業(yè)于鄭州大學(xué)化學(xué)系，獲理學(xué)學(xué)士學(xué)位；1988年畢業(yè)于中國(guó)科技大學(xué)，獲無(wú)機(jī)化學(xué)理學(xué)碩士學(xué)位；2005年畢業(yè)于上海大學(xué)，獲材料學(xué)工學(xué)博士學(xué)位。他長(zhǎng)期從事納米結(jié)構(gòu)材料的設(shè)計(jì)、制備及其在能源存儲(chǔ)轉(zhuǎn)換材料與器件、化學(xué)與生物傳感器等領(lǐng)域的研究工作。研究項(xiàng)目“金屬氧化物氣敏材料的微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、可控制備及其增敏機(jī)理研究”獲2015年上海市自然科學(xué)二等獎(jiǎng)；“碳纖維自行車整體車架研制開(kāi)發(fā)”、“催化劑在半導(dǎo)體氣敏材料中的應(yīng)用”和“氧化錫氣敏粉體的制備及其應(yīng)用研究”等5項(xiàng)成果分別獲河南省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)和三等獎(jiǎng)。他擁有發(fā)明專利25項(xiàng)，發(fā)表SCI論文300篇，先后入選ESI高被引論文15篇，總被引次數(shù)10200，H指數(shù)57。現(xiàn)主持1項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目課題“硅基晶圓級(jí)氣敏薄膜制備與熱學(xué)特性測(cè)試”、1項(xiàng)國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目“PdM雙金屬納米晶的可控合成及其對(duì)金屬氧化物氣敏材料的多重增敏機(jī)理研究”；副主持1項(xiàng)國(guó)家重大科研儀器研制項(xiàng)目“基于微納諧振敏感效應(yīng)的界面分子作用熱力學(xué)/動(dòng)力學(xué)參數(shù)提取與材料特性評(píng)估裝置”和1項(xiàng)國(guó)家自然科學(xué)基金-河南省聯(lián)合基金重點(diǎn)項(xiàng)目“煤礦瓦斯檢測(cè)用新型氧化物半導(dǎo)體氣敏材料構(gòu)筑及性能調(diào)控”；參與2017年國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃新能源汽車燃料電池和超級(jí)電容器項(xiàng)目2項(xiàng)；與上海卡耐能源有限公司、上海奧威科技發(fā)展有限公司和上海搖擼儀器有限公司分別在鋰離子電池、超級(jí)電容器和呼吸氣檢測(cè)等領(lǐng)域開(kāi)展了緊密合作，以推進(jìn)科技成果的產(chǎn)業(yè)化。
周志勇，博士，中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所研究員。2007年，博士畢業(yè)于中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所；2008~2009年，赴德國(guó)于立希研究中心固態(tài)研究所擔(dān)任洪堡訪問(wèn)學(xué)者；2009~2012年，赴英國(guó)紐卡斯?fàn)柎髮W(xué)擔(dān)任助理研究員；2012年回到中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所先后擔(dān)任副研究員、研究員。他主要研究方向是高溫壓電材料（陶瓷和薄膜）結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、性能調(diào)控和服役穩(wěn)定性及高溫工程應(yīng)用。他作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人承擔(dān)了國(guó)家自然科學(xué)基金、上海市自然科學(xué)基金、軍委科技委、裝備發(fā)展部預(yù)研、中科院STS區(qū)域重點(diǎn)項(xiàng)目和儀器裝備研制項(xiàng)目等多項(xiàng)科研任務(wù)。他在J. Mater. Chem. C、Appl. Phys. Lett.、J. Am. Ceram. Soc.等期刊發(fā)表SCI論文80余篇，其中第一作者或者通訊作者論文30篇，申請(qǐng)中國(guó)發(fā)明專利24項(xiàng)，授權(quán)13項(xiàng)。他曾獲2014年度上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)。
劉文娟，博士，武漢大學(xué)工業(yè)科學(xué)研究院講師，博士畢業(yè)于復(fù)旦大學(xué)專用集成電路與系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。她的研究方向?yàn)閴弘奙EMS器件及應(yīng)用，主要從事壓電MEMS聲學(xué)傳感器設(shè)計(jì)與制備、氮化鋁/摻鈧氮化鋁薄膜生長(zhǎng)、高分辨率超聲成像系統(tǒng)等研究。她在IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control、IEEE Sensors Journal、IEEE IUS等著名國(guó)際期刊及高水平國(guó)際會(huì)議上發(fā)表論文10余篇，申請(qǐng)及授權(quán)中國(guó)發(fā)明專利共3項(xiàng)，參與包括國(guó)家科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)家自然科學(xué)基金以及重要企業(yè)資助等科研項(xiàng)目共5項(xiàng)。
余洪斌，多次獲得麥姆斯咨詢頒發(fā)的年度講課老師稱號(hào)，博士，華中科技大學(xué)教授（楚天學(xué)者特聘教授）。他2005年畢業(yè)于華中科技大學(xué)獲光學(xué)工程博士學(xué)位，隨后赴新加坡國(guó)立大學(xué)從事微電子（光電子）機(jī)械系統(tǒng)（MEMS/MOEMS）技術(shù)領(lǐng)域的研究工作，歷任研究員和高級(jí)研究員。他曾為新加坡科技局微電子研究院研究員、項(xiàng)目負(fù)責(zé)人（PI），同時(shí)擔(dān)任新加坡國(guó)立大學(xué)機(jī)械工程系客座助理教授。他一直從事基于MEMS/MOEMS技術(shù)新型功能器件（諸如微型掃描儀、微型光譜儀、微型摩擦測(cè)量?jī)x、微型可調(diào)光闌、可變焦透鏡及微型超聲波器件等）的設(shè)計(jì)、制備工藝、封裝測(cè)試及其系統(tǒng)應(yīng)用方面的研究工作，同時(shí)也開(kāi)展新型光學(xué)儀器和光學(xué)檢測(cè)技術(shù)方面的研究。近年在Applied Physics Letters、Optics Express、Optics Letters、Sensors and Actuators B、IEEE Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Journal of selected topic on quantum electronics及Journal of Micromechanics and Microengineering等相關(guān)領(lǐng)域的國(guó)際、國(guó)內(nèi)核心期刊上發(fā)表論文80余篇，撰寫書本章節(jié)并多次在相關(guān)領(lǐng)域國(guó)際會(huì)議上宣講研究成果。作為核心成員申請(qǐng)和獲授權(quán)國(guó)內(nèi)、國(guó)際專利15項(xiàng)（8項(xiàng)中國(guó)專利、7項(xiàng)美國(guó)專利），其中兩項(xiàng)專利成功獲得商業(yè)轉(zhuǎn)讓，現(xiàn)正進(jìn)行相關(guān)產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)。同時(shí)，他長(zhǎng)期擔(dān)任十余種國(guó)內(nèi)、國(guó)際期刊的特邀審稿人，作為主要負(fù)責(zé)人成功獲得國(guó)家自然科學(xué)基金資助，主持或參與多個(gè)研究項(xiàng)目，包括國(guó)家自然科學(xué)基金、新加坡教育部基金、新加坡國(guó)家研究基金、新加坡科技局項(xiàng)目。
唐瑞濤，浙江清華柔性電子技術(shù)研究院副研究員，博士畢業(yè)于中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)。畢業(yè)后入職浙江清華柔性電子技術(shù)研究院，主要從事壓電式薄膜壓力傳感器的研發(fā)工作，研究方向包括聚合物壓電薄膜材料制備、壓電薄膜極化工藝、薄膜傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、性能表征測(cè)試方法及定量化理論。他主持設(shè)計(jì)完成的壓電薄膜傳感系統(tǒng)能夠應(yīng)對(duì)多種復(fù)雜應(yīng)用場(chǎng)景，性能遠(yuǎn)超同類型的壓電薄膜傳感器。他主持參與多項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)加強(qiáng)項(xiàng)目、國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目以及浙江省自然科學(xué)基金等，在相關(guān)領(lǐng)域發(fā)表論文15篇，申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利20余項(xiàng)，參與制定柔性電子器件可靠性標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)。
歐陽(yáng)俊，博士，齊魯工業(yè)大學(xué)教授，“新能源材料化學(xué)與功能器件”科研團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人，教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才，山東省“惠才卡”專家和省級(jí)領(lǐng)軍人才。1999年在清華大學(xué)獲得學(xué)士學(xué)位，師從清華大學(xué)陶瓷國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任潘偉教授；2005年在美國(guó)馬里蘭大學(xué)獲得材料科學(xué)與工程博士學(xué)位（鐵電/壓電材料方向，師從美國(guó)工程院院士R.Ramesh教授和鐵性疇理論專家Royburd教授）。2005年6月至2010年4月在美國(guó)希捷科技（SeagateTechnology）任職，先后擔(dān)任電子設(shè)計(jì)高級(jí)工程師和電子材料研發(fā)主管工程師。2010年4月至201912月在山東大學(xué)材料學(xué)院擔(dān)任教授和博士生導(dǎo)師。目前，他還擔(dān)任中國(guó)硅酸鹽學(xué)會(huì)特種陶瓷分會(huì)理事和山東硅酸鹽學(xué)會(huì)電子陶瓷專家委員會(huì)常務(wù)委員，Journal of Advanced Ceramics期刊編委。他曾擔(dān)任中國(guó)真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)理事、山東省清華校友會(huì)副秘書長(zhǎng)、第十二屆先進(jìn)陶瓷國(guó)際會(huì)議介電和鐵電儲(chǔ)能分會(huì)主席。
吳國(guó)強(qiáng)，多次獲得麥姆斯咨詢頒發(fā)的年度講課老師稱號(hào)，博士，武漢大學(xué)青年學(xué)術(shù)帶頭人、教授、博士生導(dǎo)師，主要從事MEMS諧振器和振蕩器、壓電聲學(xué)MEMS傳感器、MEMS慣性傳感器的研究工作。他2013年從中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所獲得工學(xué)博士學(xué)位，曾擔(dān)任中航工業(yè)自控所慣性MEMS傳感器研發(fā)工程師，以及新加坡科技局微電子研究院研究員。作為獨(dú)立項(xiàng)目負(fù)責(zé)人主持含國(guó)家自然科學(xué)基金、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題、企業(yè)資助技術(shù)開(kāi)發(fā)等多項(xiàng)科研項(xiàng)目。近年來(lái)在JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、IEEE TED等領(lǐng)域主流期刊上發(fā)表學(xué)術(shù)論文60余篇，申請(qǐng)國(guó)內(nèi)專利40余項(xiàng)。
杜亦佳，博士，烏鎮(zhèn)實(shí)驗(yàn)室研究員。2013年至2015年在中物院無(wú)線電物理博士后流動(dòng)站進(jìn)行博士后工作，與德國(guó)IHP聯(lián)合開(kāi)展MEMS微執(zhí)行器研究；2015年至2021年，在中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所微系統(tǒng)與太赫茲研究中心從事壓電微執(zhí)行器技術(shù)研究；2021年起，在烏鎮(zhèn)實(shí)驗(yàn)室從事基于先進(jìn)壓電薄膜的MEMS器件研究。她先后主持與參與了各類國(guó)家項(xiàng)目、國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目、青年基金、中國(guó)博士后科學(xué)基金等科研項(xiàng)目。近年來(lái)，她已經(jīng)在國(guó)際權(quán)威期刊JACS、IEEE J MEMS、SENSOR ACTUAT A-PHYS、IEEE T NUCL SCI等發(fā)表了多篇學(xué)術(shù)論文。
張孟倫，工學(xué)博士，天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院助理教授、碩士生導(dǎo)師，英國(guó)劍橋大學(xué)訪問(wèn)學(xué)者。他專注MEMS領(lǐng)域研究十余年，研究領(lǐng)域覆蓋各類聲學(xué)MEMS器件，包括麥克風(fēng)、揚(yáng)聲器、超聲換能器及頻率器件等。在壓電MEMS方向以第一作者/通訊作者身份發(fā)表國(guó)際學(xué)術(shù)論文40余篇（JMEMS、Microsyst Nanoeng、TUFFC、JMM、EDL、APL、Small、PRA、B&B、ACS Sensors、ACS AMI、Analyst等），并將研究成果出版英文專著章節(jié)；在MEMS領(lǐng)域申請(qǐng)和授權(quán)國(guó)內(nèi)外發(fā)明專利150余項(xiàng)。他多次受邀參加國(guó)際學(xué)術(shù)會(huì)議并作報(bào)告，近5年來(lái)先后赴9個(gè)國(guó)家和地區(qū)在多場(chǎng)MEMS領(lǐng)域會(huì)議上（IEEEMEMS、Transducers、Sensors、NEMS等）作報(bào)告；擔(dān)任Nanotechnology and Precision Engineering等國(guó)際學(xué)術(shù)期刊編輯。
七、培訓(xùn)費(fèi)用和報(bào)名方式咨詢
請(qǐng)發(fā)送電子郵件至[email protected]，郵件題目格式為：報(bào)名+壓電MEMS與傳感器培訓(xùn)+單位簡(jiǎn)稱+人數(shù)。
報(bào)名網(wǎng)站：https://www.memstraining.com/training_43.html
麥姆斯咨詢
聯(lián)系人：畢女士
E-mail：BISainan#http://MEMSConsulting.com（#換成@）
