第43期“見微知著”培訓課程：壓電MEMS與傳感器？
主辦單位：麥姆斯咨詢
協辦單位：上海傳感信息科技有限公司
一、課程簡介
2022年新冠疫情仍伴隨著我們，MEMS產業鏈也面臨著種種挑戰。但是，以壓電MEMS為代表的新技術進入黃金發展期，燃起業界對未來的希望——基于壓電MEMS的新器件層出不窮，推動MEMS和傳感器產業向前發展，賦能萬物互聯的智能化應用。為此，全球MEMS產業領域的兩大IDM巨頭——博世（Bosch）和意法半導體（STMicroelectronics）積極參與其中，對外提供壓電MEMS研發及代工服務，確保新產品的量產能力和可靠性。
意法半導體全球首創“Lab-in-Fab”概念，構建8英寸壓電MEMS研發線
在國內方面，國家智能傳感器創新中心、上海微技術工研院和蘇州納米城MEMS中試平臺都發布了壓電MEMS工藝能力，投身于新技術培育孵化和多功能產品定義。中芯集成、中芯寧波、賽微電子等MEMS代工廠主要在濾波器領域展開布局。2021年，國家重點研發計劃“制造基礎技術與關鍵部件”重點專項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關鍵技術與平臺”的項目啟動會在天津召開，對實現晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規模生產、擺脫我國目前關鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，具有重要而深遠的意義。
壓電器件類型：塊體型（Bulk）、厚膜型（Thick Film）、薄膜型（Thin Film）（來源：ULVAC）
隨著先進材料和MEMS技術的不斷發展，以鋯鈦酸鉛（PZT）和氮化鋁（AlN）為代表的薄膜型壓電材料的制備越來越成熟。薄膜型壓電器件可利用MEMS代工廠，開發與CMOS兼容的量產工藝，從而改變傳統壓電器件“體積大、功耗高、批量生產能力低、價格貴”的形象，對消費類應用領域來講極具吸引力！在薄膜型壓電器件中，體聲波濾波器（BAW）是當前的最大功臣，占據最大的市場份額；其它產品，例如超聲波換能器、揚聲器、麥克風、慣性傳感器、微鏡，也在不斷探索新應用，以期挖掘高價值的藍海市場。
在壓電執行器方面，USound于2022年發布新款壓電式MEMS揚聲器，適用于兼容磁共振成像（MRI）的耳機及配件；xMEMS于2021年推出多款單芯片壓電MEMS揚聲器，例如Cowell主要面向TWS耳機和助聽器應用，而Tomales主攻智能眼鏡和AR/VR頭戴式設備應用；Piezo Motion于2021年宣布全球首創一款新型壓電微劑量泵（超精密旋轉壓電馬達+微型注射器），能夠為生命科學實驗室設備提供精確的微流體控制；富士膠片于2021年發布硅基MEMS壓電噴墨打印系統X-BAR，集成的打印頭基于濺射法制備的壓電陶瓷薄膜，可以實現數萬億次執行的長壽命。
典型的壓電MEMS執行器
在壓電傳感器方面，Vesper于2022年發布第二代智能壓電語音加速度計VA1210，提供更高的靈敏度和信噪比，并且集成語音喚醒等新功能；能斯達電子于2022年宣布壓阻與壓電二合一的復合柔性微納傳感器的研發成功，該產品能夠同時實現動態和靜態力學信號的寬范圍、高靈敏檢測；茂丞科技于2021年推出芯片級壓電超聲波換能器JMS922，以及應用于電子煙油質量與液位檢測的ToF解決方案；imec于2021年展示一款基于壓電超聲波換能器的超聲探頭，并實現動脈硬化檢測以及血壓監測的概念驗證。
典型的壓電MEMS傳感器
為了助力中國壓電MEMS和傳感器產業發展，麥姆斯咨詢從2019起每年都會甄選市場熱點與技術重點，量身定制相關主題的培訓課程。2022年，麥姆斯咨詢從壓電傳感器和壓電執行器兩方面出發，策劃課程內容涵蓋：（1）BAW濾波器和BAW傳感器；（2）SAW傳感器和SAW微流控；（3）石英晶體微天平傳感器；（4）高溫壓電陶瓷材料及其在振動傳感器中的應用；（5）壓電MEMS聲學傳感器；（6）壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡；（7）柔性壓電式壓力傳感器；（8）BiFeO3壓電薄膜及MEMS器件應用；（9）壓電MEMS諧振器與振蕩器；（10）壓電MEMS微執行器技術研究進展；（11）氮化鋁MEMS大有可為。
二、培訓對象
本課程主要面向壓電MEMS與傳感器產業鏈上下游企業的技術人員和管理人員，以及高校師生，同時也歡迎其他希望了解壓電MEMS與傳感器的非技術背景人員參加，如銷售和市場人員、投融資機構人員、政府管理人員等。
三、培訓時間
2022年6月24日~6月26日
授課結束后，為學員頒發麥姆斯咨詢的結業證書。
四、培訓方式
原計劃線下舉辦，因為疫情影響改為線上直播課程和答疑。
五、課程內容
課程一：BAW濾波器和BAW傳感器
老師：西南科技大學 研究員 高楊
BAW濾波器和BAW傳感器的基本構件是基于MEMS技術的諧振器，主要包括FBAR和BAW-SMR兩大類。BAW濾波器因具有低插入損耗和高Q值成為高性能5G射頻前端系統的首選，吸引眾多海歸專家與本土人才投身創業大潮。BAW傳感器通過檢測諧振器的諧振頻率變化得到待測物理量，具有靈敏度高、工作頻率高等優點。本課程從壓電材料體系出發，詳細介紹BAW諧振器及濾波器、BAW壓力傳感器及讀出電路的核心技術。
課程提綱：
（1）壓電材料體系綜述；
（2）BAW諧振器及濾波器設計與制造；
（3）BAW濾波器產業現狀及發展趨勢；
（4）BAW壓力傳感器設計與制造；
（5）BAW壓力傳感器讀出電路設計；
（6）BAW技術創新與挑戰。
課程二：SAW傳感器和SAW微流控
老師：岳麓學者、博士生導師 周劍
SAW器件的聲波傳播能量主要集中在固體表面，當固體表面受到外界的刺激（力、電、磁、熱）時，聲波波速變化，導致諧振頻率變化，通過探測頻率偏移，實現對外界參量（如溫度、粘度、氣體濃度、曲度）的探測。而通過在一次性芯片表面上圖案化的微結構來控制表面聲波與微流體之間的相互作用，以隨頻率變化的特定方式來形成聲波，在許多生物和醫療應用中具有巨大的前景。本課程將為學員們講解SAW傳感器和SAW微流控的核心技術和典型應用。
課程提綱：
（1）SAW基本概念、內涵；
（2）SAW傳感器原理和無線無源監測；
（3）SAW傳感器的制備和封裝工藝；
（4）柔性SAW、透明SAW、超高頻SAW前沿進展；
（5）SAW傳感器產業現狀和主要廠商；
（6）SAW微流控原理和應用：聲線、粒子集聚、微泵和霧化；
（7）SAW微流控產業現狀。
課程三：石英晶體微天平傳感器
老師：上海大學 教授 徐甲強
石英晶體微天平（QCM）利用石英晶體的壓電效應，將電極表面的質量變化轉化為振蕩電路輸出的電信號頻率變化，進而再通過處理電路獲得高精度的數據，在微量及痕量物質檢測方面具有優勢，廣泛應用于化學、物理、生物和醫學領域。此外，根據實際應用需求，還可以在電極上選擇性地鍍膜來進一步拓展檢測領域。本課程詳細講解石英晶體微天平技術及應用，重點在于氣體和濕度傳感器設計與制造。
課程提綱：
（1）石英晶體微天平概念及工作原理；
（2）石英晶體微天平應用進展；
（3）基于石英晶體微天平的甲醛傳感器設計與制造；
（4）基于石英晶體微天平的濕度傳感器設計與制造；
（5）石英晶體微天平傳感器技術展望。
課程四：高溫壓電陶瓷材料及其在振動傳感器中的應用
老師：中國科學院上海硅酸鹽研究所 研究員 周志勇
壓電式振動傳感器主要用于發動機和燃氣輪機的振動監測和分析，尤其是航空發動機健康管理系統的關鍵感知器件。但是在航空發電機應用中，嚴苛的環境（例如高溫、高轉速、復雜振動）對壓電式振動傳感器核心敏感元件（高溫壓電陶瓷）的服役性和穩定性提出了新的挑戰。本課程主要介紹壓電式振動傳感器的國內外進展，并講解高溫壓電陶瓷材料各方面知識，以期為國內相關產品研究及產業化提供一定的技術支撐。
課程提綱：
（1）高溫壓電式振動傳感器的國內外進展；
（2）高溫壓電陶瓷材料體系及國內外產品情況；
（3）高溫壓電陶瓷材料結構與靜態性能調控和改善；
（4）高溫壓電陶瓷材料動態性能評測方法和技術；
（5）高溫壓電陶瓷材料面臨的挑戰及應用展望。
課程五：壓電MEMS聲學傳感器
老師：武漢大學 講師 劉文娟
近些年，壓電MEMS技術在聲學傳感領域發展迅速，典型應用包括麥克風、超聲換能器、水聽器等。以壓電薄膜替代傳統電容結構的壓電MEMS麥克風的主要優點包括：（1）高可靠性，防水防塵性能優秀；（2）無需電荷泵，降低語音喚醒和始終在線的功耗；（3）更快的響應速度，減少語音交互延遲；（4）高聲學過載點（AOP），可用于嘈雜或工業環境。本課程從壓電薄膜生長到壓電器件設計與制造，講解麥克風和超聲換能器兩大熱門產品。
課程提綱：
（1）壓電MEMS聲學傳感器概述；
（2）氮化鋁/摻鈧氮化鋁薄膜生長與器件制備；
（3）壓電MEMS超聲換能器（PMUT）設計與制造；
（4）壓電MEMS麥克風設計與制造；
（5）基于PMUT的高分辨率超聲成像系統展望。
課程六：壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡
老師：華中科技大學 教授 余洪斌
MEMS微鏡指采用MEMS制造技術，把微光反射鏡與MEMS驅動器集成在一起的光學器件，在激光雷達、3D攝像頭、微家用投影儀、汽車智能前燈、光通信等應用扮演著重要角色。MEMS變形鏡是自適應光學系統的關鍵元件，對波前像差的擬合能力決定了自適應光學系統的校正性能。本課程詳解基于氮化鋁（AIN）的MEMS微鏡和MEMS變形鏡技術及未來發展。
課程提綱：
（1）MEMS微鏡基本概念及驅動技術（壓電驅動、靜電驅動、電磁驅動、電熱驅動）特性分析；
（2）壓電MEMS微鏡技術發展現狀及其面臨的問題和解決方案；
（3）壓電MEMS微鏡器件設計和制造實例；
（4）自適應光學基本概念和工作原理；
（5）壓電MEMS變形鏡技術發展現狀及其面臨的問題和解決方案；
（6）壓電MEMS變形鏡器件設計和制造實例。
課程七：柔性壓電式壓力傳感器
老師：浙江清華柔性電子技術研究院 副研究員 唐瑞濤
隨著材料科學、柔性電子和微納技術的發展，各種柔性壓力傳感器應運而生，它們通常由兩層柔性電極和中間的功能軟材料構成，具有可彎曲、可變形的特點。聚偏二氟乙烯（PVDF）是一種有機壓電聚合物，可用于柔性壓力傳感器、超聲波指紋識別傳感器等。基于PVDF的柔性壓力傳感器在智能觸覺、健康監測、生物醫療、人機交互等領域具有應用潛力。本課程針對柔性壓電式壓力傳感器進行詳細剖析，并對未來技術發展進行展望。
課程提綱：
（1）柔性壓電材料介紹；
（2）PVDF壓電薄膜及其性能；
（3）柔性壓電式壓力傳感器設計；
（4）柔性壓電式壓力傳感器制造；
（5）柔性壓電式壓力傳感器測試；
（6）柔性壓電式壓力傳感器技術展望。
課程八：BiFeO?壓電薄膜及MEMS器件應用
老師：齊魯工業大學 教授 歐陽俊
近年來，隨著MEMS、傳感器及隨機存儲器等行業的迅速發展，具備優異的鐵電和壓電性能的薄膜材料已經成為研究領域的熱點之一。目前，鉛系材料仍然是應用于這些領域的主體材料，但是其在制備和使用的過程中會對環境造成嚴重的污染問題。因此，尋找一種無鉛且性能優越的材料成為大勢所趨。BiFeO?薄膜因其優異的鐵電和壓電性能而受到人們的廣泛關注，成為可以與鉛系材料相媲美的一類無鉛鐵電環保材料。本課程詳細講解BiFeO?薄膜材料性質、制備與表征方法，以及基于BiFeO?薄膜的MEMS器件。
課程提綱：
（1）BiFeO?材料介紹；
（2）BiFeO?薄膜制備及表征方法；
（3）基于BiFeO?壓電薄膜的MEMS器件原型及表征；
（4）BiFeO?壓電薄膜的性能調控；
（5）BiFeO?壓電薄膜技術發展及應用展望。
課程九：壓電MEMS諧振器與振蕩器
老師：武漢大學 教授 吳國強
時鐘器件是電子電路設備的心臟，提供時間參考和頻率基準。MEMS時鐘器件（例如MEMS振蕩器）是MEMS細分市場增速領先的產品。相比傳統的石英晶體振蕩器，壓電MEMS振蕩器具有小尺寸、高可靠性、低功耗和可編程等優勢，在可穿戴設備、物聯網、智能手機和汽車等領域具有廣闊的應用前景。本課程講授MEMS諧振器與振蕩器基礎知識、設計理論、系統應用以及產業化的關鍵技術。
課程提綱：
（1）MEMS諧振器、振蕩器及時鐘概念、原理及分類；
（2）MEMS時鐘器件產業情況及主要廠商；
（3）壓電MEMS諧振器設計理論；
（4）壓電MEMS諧振器關鍵技術；
（5）壓電MEMS諧振器與振蕩器設計、制造及測試。
課程十：壓電MEMS微執行器技術研究進展
老師：烏鎮實驗室 研究員 杜亦佳
壓電MEMS通過單片集成形式即可實現執行、傳感、能量收集和無線通信，是應用潛力巨大的熱點技術。壓電MEMS微執行器能夠精確、自主地執行復雜動作如直線、旋轉、加速度、鉗動等，以此完成對極微小器件與結構的納米尺度精確操作。因此，壓電MEMS微執行器不但能夠滿足集成微系統（IMS）對自測試性、微定位性和片上操控性的嚴苛要求，同時能夠滿足集成微系統對輸出力矩/體積效能比、響應速度、分辨率、功耗、集成度方面的需求。通過本課程的學習，您可以全面了解壓電MEMS微執行器技術及應用。
課程提綱：
（1）壓電MEMS微執行器基本概念和工作原理；
（2）壓電MEMS微執行器結構設計；
（3）壓電MEMS微執行器制造工藝；
（4）基于KNN薄膜的壓電MEMS換能器設計與制造；
（5）壓電MEMS微執行器應用領域及發展趨勢。
課程十一：氮化鋁MEMS大有可為
老師：天津大學 助理教授 張孟倫
氮化鋁（AlN）壓電薄膜作為一種重要的III-V族化合物材料，具有高聲波速、高壓電性以及良好的化學穩定性等優點，在傳感器、高頻聲波諧振器及濾波器等領域備受關注。通過在氮化鋁中摻入稀土元素或過渡金屬元素，還可以改善材料的機電耦合系數和壓電系數，實現更有效的機械能-電能轉換，例如摻鈧（Sc）氮化鋁（AlScN）薄膜可以提高射頻器件的工作效率。并且，氮化鋁壓電薄膜制造工藝可與CMOS工藝兼容，這些都使得氮化鋁壓電薄膜成為當前最炙手可熱的壓電薄膜材料之一。本課程詳細闡述氮化鋁MEMS技術發展之路及典型的氮化鋁MEMS器件。
課程提綱：
（1）過去40年：MEMS平臺技術演進——從硅到氮化鋁；
（2）過去20年：氮化鋁MEMS小試牛刀——從諧振器到麥克風；
（3）未來20年：氮化鋁MEMS大展宏圖——從傳感到執行；
（4）典型的氮化鋁MEMS器件剖析。
六、師資介紹
高楊，博士，研究員、博導，主要研究方向為軍民兩用微系統技術及其應用，涉及RF MEMS關鍵技術、BAW濾波器及雙工器、BAW傳感器等。2000年畢業于北京理工大學電子工程系，獲博士學位，是李幼平院士（中國工程院）培養的第一位博士；2004年上海交通大學電子學與固態電子學專業在職博士后出站。1996年至2019，在中國工程物理研究院電子工程研究所工作，歷任3個研究室（處級）的主要領導和所科技委委員。2019，他作為“拔尖人才”被全職引進到西南科技大學，創建了西南科技大學微系統中心（SWUSTMicrosystem Center）、四川爆米（BAWME）微納科技有限公司。他主持過裝備型號/背景型號/預研/重大基礎研究項目或子項目，以及863計劃、國防基礎研究、國家自然科學基金、省部級重點基金等縱向科研項目20余項；獲部級一等獎1項（排名2）、部級二等獎1項（排名1）、部級三等獎5項（排名1、1、2、3、4）。授權發明專利40余項；一作發表學術論文100余篇，其中SCI/EI檢索40余篇；近5年在本專業重要學術會議做特邀報告10余次。2019當選“第一屆中國測試學術影響力人物”。
周劍，多次獲得麥姆斯咨詢頒發的年度講課老師稱號，博士，岳麓學者、副教授、博士生導師，英國愛丁堡大學訪問學者，教育部聯合基金（青年人才）項目和湖南省自然科學基金優秀青年基金獲得者。他長期從事SAW傳感器和微流控研究，在SAW傳感器和微流控基礎材料加工、芯片設計、Comsol仿真、傳感器和微流控測試等方面積累了豐富的經驗。他承擔了國家自然科學基金面上項目、青年基金、科技委基礎加強基金、教育部聯合基金、湖南省科技公關項目、湖南省重點研發子課題、廣東省重點研發子課題等十余個項目。在Nano Letters、ACS AMI、ACS sensors、IEEE TMI、APL等發表了SCI/EI論文60余篇，被引次數約1000次，授權發明專利10余項。他還曾獲湖南省儀器儀表學會科學技術獎一等獎、中國中車科學技術獎二等獎、校優秀教師新人獎、校教學比賽二等獎。
徐甲強，博士，上海大學教授、博士生導師、理學院副院長。他于2003年獲得河南省杰出青年科學基金資助，入選由斯坦福大學和愛思維爾集團發布的1960-2019終身科學影響力排行榜，2019分析化學前2%頂尖科學家。1985年畢業于鄭州大學化學系，獲理學學士學位；1988年畢業于中國科技大學，獲無機化學理學碩士學位；2005年畢業于上海大學，獲材料學工學博士學位。他長期從事納米結構材料的設計、制備及其在能源存儲轉換材料與器件、化學與生物傳感器等領域的研究工作。研究項目“金屬氧化物氣敏材料的微結構設計、可控制備及其增敏機理研究”獲2015年上海市自然科學二等獎；“碳纖維自行車整體車架研制開發”、“催化劑在半導體氣敏材料中的應用”和“氧化錫氣敏粉體的制備及其應用研究”等5項成果分別獲河南省科技進步二等獎和三等獎。他擁有發明專利25項，發表SCI論文300篇，先后入選ESI高被引論文15篇，總被引次數10200，H指數57。現主持1項國家重點研發計劃項目課題“硅基晶圓級氣敏薄膜制備與熱學特性測試”、1項國家自然科學基金面上項目“PdM雙金屬納米晶的可控合成及其對金屬氧化物氣敏材料的多重增敏機理研究”；副主持1項國家重大科研儀器研制項目“基于微納諧振敏感效應的界面分子作用熱力學/動力學參數提取與材料特性評估裝置”和1項國家自然科學基金-河南省聯合基金重點項目“煤礦瓦斯檢測用新型氧化物半導體氣敏材料構筑及性能調控”；參與2017年國家重點研發計劃新能源汽車燃料電池和超級電容器項目2項；與上海卡耐能源有限公司、上海奧威科技發展有限公司和上海搖擼儀器有限公司分別在鋰離子電池、超級電容器和呼吸氣檢測等領域開展了緊密合作，以推進科技成果的產業化。
周志勇，博士，中國科學院上海硅酸鹽研究所研究員。2007年，博士畢業于中國科學院上海硅酸鹽研究所；2008~2009年，赴德國于立希研究中心固態研究所擔任洪堡訪問學者；2009~2012年，赴英國紐卡斯爾大學擔任助理研究員；2012年回到中國科學院上海硅酸鹽研究所先后擔任副研究員、研究員。他主要研究方向是高溫壓電材料（陶瓷和薄膜）結構設計、性能調控和服役穩定性及高溫工程應用。他作為項目負責人承擔了國家自然科學基金、上海市自然科學基金、軍委科技委、裝備發展部預研、中科院STS區域重點項目和儀器裝備研制項目等多項科研任務。他在J. Mater. Chem. C、Appl. Phys. Lett.、J. Am. Ceram. Soc.等期刊發表SCI論文80余篇，其中第一作者或者通訊作者論文30篇，申請中國發明專利24項，授權13項。他曾獲2014年度上海市技術發明一等獎。
劉文娟，博士，武漢大學工業科學研究院講師，博士畢業于復旦大學專用集成電路與系統國家重點實驗室。她的研究方向為壓電MEMS器件及應用，主要從事壓電MEMS聲學傳感器設計與制備、氮化鋁/摻鈧氮化鋁薄膜生長、高分辨率超聲成像系統等研究。她在IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control、IEEE Sensors Journal、IEEE IUS等著名國際期刊及高水平國際會議上發表論文10余篇，申請及授權中國發明專利共3項，參與包括國家科技部重點研發計劃、國家自然科學基金以及重要企業資助等科研項目共5項。
余洪斌，多次獲得麥姆斯咨詢頒發的年度講課老師稱號，博士，華中科技大學教授（楚天學者特聘教授）。他2005年畢業于華中科技大學獲光學工程博士學位，隨后赴新加坡國立大學從事微電子（光電子）機械系統（MEMS/MOEMS）技術領域的研究工作，歷任研究員和高級研究員。他曾為新加坡科技局微電子研究院研究員、項目負責人（PI），同時擔任新加坡國立大學機械工程系客座助理教授。他一直從事基于MEMS/MOEMS技術新型功能器件（諸如微型掃描儀、微型光譜儀、微型摩擦測量儀、微型可調光闌、可變焦透鏡及微型超聲波器件等）的設計、制備工藝、封裝測試及其系統應用方面的研究工作，同時也開展新型光學儀器和光學檢測技術方面的研究。近年在Applied Physics Letters、Optics Express、Optics Letters、Sensors and Actuators B、IEEE Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Journal of selected topic on quantum electronics及Journal of Micromechanics and Microengineering等相關領域的國際、國內核心期刊上發表論文80余篇，撰寫書本章節并多次在相關領域國際會議上宣講研究成果。作為核心成員申請和獲授權國內、國際專利15項（8項中國專利、7項美國專利），其中兩項專利成功獲得商業轉讓，現正進行相關產品的開發。同時，他長期擔任十余種國內、國際期刊的特邀審稿人，作為主要負責人成功獲得國家自然科學基金資助，主持或參與多個研究項目，包括國家自然科學基金、新加坡教育部基金、新加坡國家研究基金、新加坡科技局項目。
唐瑞濤，浙江清華柔性電子技術研究院副研究員，博士畢業于中國科學技術大學。畢業后入職浙江清華柔性電子技術研究院，主要從事壓電式薄膜壓力傳感器的研發工作，研究方向包括聚合物壓電薄膜材料制備、壓電薄膜極化工藝、薄膜傳感器結構設計、性能表征測試方法及定量化理論。他主持設計完成的壓電薄膜傳感系統能夠應對多種復雜應用場景，性能遠超同類型的壓電薄膜傳感器。他主持參與多項國家重點研發計劃、國家重點基礎加強項目、國家自然科學基金重點項目以及浙江省自然科學基金等，在相關領域發表論文15篇，申請國家發明專利20余項，參與制定柔性電子器件可靠性標準2項。
歐陽俊，博士，齊魯工業大學教授，“新能源材料化學與功能器件”科研團隊負責人，教育部新世紀優秀人才，山東省“惠才卡”專家和省級領軍人才。1999年在清華大學獲得學士學位，師從清華大學陶瓷國家重點實驗室主任潘偉教授；2005年在美國馬里蘭大學獲得材料科學與工程博士學位（鐵電/壓電材料方向，師從美國工程院院士R.Ramesh教授和鐵性疇理論專家Royburd教授）。2005年6月至2010年4月在美國希捷科技（SeagateTechnology）任職，先后擔任電子設計高級工程師和電子材料研發主管工程師。2010年4月至201912月在山東大學材料學院擔任教授和博士生導師。目前，他還擔任中國硅酸鹽學會特種陶瓷分會理事和山東硅酸鹽學會電子陶瓷專家委員會常務委員，Journal of Advanced Ceramics期刊編委。他曾擔任中國真空科學與技術學報理事、山東省清華校友會副秘書長、第十二屆先進陶瓷國際會議介電和鐵電儲能分會主席。
吳國強，多次獲得麥姆斯咨詢頒發的年度講課老師稱號，博士，武漢大學青年學術帶頭人、教授、博士生導師，主要從事MEMS諧振器和振蕩器、壓電聲學MEMS傳感器、MEMS慣性傳感器的研究工作。他2013年從中科院上海微系統與信息技術研究所獲得工學博士學位，曾擔任中航工業自控所慣性MEMS傳感器研發工程師，以及新加坡科技局微電子研究院研究員。作為獨立項目負責人主持含國家自然科學基金、國家重點研發計劃課題、企業資助技術開發等多項科研項目。近年來在JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、IEEE TED等領域主流期刊上發表學術論文60余篇，申請國內專利40余項。
杜亦佳，博士，烏鎮實驗室研究員。2013年至2015年在中物院無線電物理博士后流動站進行博士后工作，與德國IHP聯合開展MEMS微執行器研究；2015年至2021年，在中國工程物理研究院電子工程研究所微系統與太赫茲研究中心從事壓電微執行器技術研究；2021年起，在烏鎮實驗室從事基于先進壓電薄膜的MEMS器件研究。她先后主持與參與了各類國家項目、國家自然科學基金面上項目、青年基金、中國博士后科學基金等科研項目。近年來，她已經在國際權威期刊JACS、IEEE J MEMS、SENSOR ACTUAT A-PHYS、IEEE T NUCL SCI等發表了多篇學術論文。
張孟倫，工學博士，天津大學精密儀器與光電子工程學院助理教授、碩士生導師，英國劍橋大學訪問學者。他專注MEMS領域研究十余年，研究領域覆蓋各類聲學MEMS器件，包括麥克風、揚聲器、超聲換能器及頻率器件等。在壓電MEMS方向以第一作者/通訊作者身份發表國際學術論文40余篇（JMEMS、Microsyst Nanoeng、TUFFC、JMM、EDL、APL、Small、PRA、B&B、ACS Sensors、ACS AMI、Analyst等），并將研究成果出版英文專著章節；在MEMS領域申請和授權國內外發明專利150余項。他多次受邀參加國際學術會議并作報告，近5年來先后赴9個國家和地區在多場MEMS領域會議上（IEEEMEMS、Transducers、Sensors、NEMS等）作報告；擔任Nanotechnology and Precision Engineering等國際學術期刊編輯。
七、培訓費用和報名方式咨詢
請發送電子郵件至[email protected]，郵件題目格式為：報名+壓電MEMS與傳感器培訓+單位簡稱+人數。
報名網站：https://www.memstraining.com/training_43.html
麥姆斯咨詢
聯系人：畢女士
E-mail：BISainan#http://MEMSConsulting.com（#換成@）
協辦單位：上海傳感信息科技有限公司
一、課程簡介
2022年新冠疫情仍伴隨著我們，MEMS產業鏈也面臨著種種挑戰。但是，以壓電MEMS為代表的新技術進入黃金發展期，燃起業界對未來的希望——基于壓電MEMS的新器件層出不窮，推動MEMS和傳感器產業向前發展，賦能萬物互聯的智能化應用。為此，全球MEMS產業領域的兩大IDM巨頭——博世（Bosch）和意法半導體（STMicroelectronics）積極參與其中，對外提供壓電MEMS研發及代工服務，確保新產品的量產能力和可靠性。
意法半導體全球首創“Lab-in-Fab”概念，構建8英寸壓電MEMS研發線
在國內方面，國家智能傳感器創新中心、上海微技術工研院和蘇州納米城MEMS中試平臺都發布了壓電MEMS工藝能力，投身于新技術培育孵化和多功能產品定義。中芯集成、中芯寧波、賽微電子等MEMS代工廠主要在濾波器領域展開布局。2021年，國家重點研發計劃“制造基礎技術與關鍵部件”重點專項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關鍵技術與平臺”的項目啟動會在天津召開，對實現晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規模生產、擺脫我國目前關鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，具有重要而深遠的意義。
壓電器件類型：塊體型（Bulk）、厚膜型（Thick Film）、薄膜型（Thin Film）（來源：ULVAC）
隨著先進材料和MEMS技術的不斷發展，以鋯鈦酸鉛（PZT）和氮化鋁（AlN）為代表的薄膜型壓電材料的制備越來越成熟。薄膜型壓電器件可利用MEMS代工廠，開發與CMOS兼容的量產工藝，從而改變傳統壓電器件“體積大、功耗高、批量生產能力低、價格貴”的形象，對消費類應用領域來講極具吸引力！在薄膜型壓電器件中，體聲波濾波器（BAW）是當前的最大功臣，占據最大的市場份額；其它產品，例如超聲波換能器、揚聲器、麥克風、慣性傳感器、微鏡，也在不斷探索新應用，以期挖掘高價值的藍海市場。
在壓電執行器方面，USound于2022年發布新款壓電式MEMS揚聲器，適用于兼容磁共振成像（MRI）的耳機及配件；xMEMS于2021年推出多款單芯片壓電MEMS揚聲器，例如Cowell主要面向TWS耳機和助聽器應用，而Tomales主攻智能眼鏡和AR/VR頭戴式設備應用；Piezo Motion于2021年宣布全球首創一款新型壓電微劑量泵（超精密旋轉壓電馬達+微型注射器），能夠為生命科學實驗室設備提供精確的微流體控制；富士膠片于2021年發布硅基MEMS壓電噴墨打印系統X-BAR，集成的打印頭基于濺射法制備的壓電陶瓷薄膜，可以實現數萬億次執行的長壽命。
典型的壓電MEMS執行器
在壓電傳感器方面，Vesper于2022年發布第二代智能壓電語音加速度計VA1210，提供更高的靈敏度和信噪比，并且集成語音喚醒等新功能；能斯達電子于2022年宣布壓阻與壓電二合一的復合柔性微納傳感器的研發成功，該產品能夠同時實現動態和靜態力學信號的寬范圍、高靈敏檢測；茂丞科技于2021年推出芯片級壓電超聲波換能器JMS922，以及應用于電子煙油質量與液位檢測的ToF解決方案；imec于2021年展示一款基于壓電超聲波換能器的超聲探頭，并實現動脈硬化檢測以及血壓監測的概念驗證。
典型的壓電MEMS傳感器
為了助力中國壓電MEMS和傳感器產業發展，麥姆斯咨詢從2019起每年都會甄選市場熱點與技術重點，量身定制相關主題的培訓課程。2022年，麥姆斯咨詢從壓電傳感器和壓電執行器兩方面出發，策劃課程內容涵蓋：（1）BAW濾波器和BAW傳感器；（2）SAW傳感器和SAW微流控；（3）石英晶體微天平傳感器；（4）高溫壓電陶瓷材料及其在振動傳感器中的應用；（5）壓電MEMS聲學傳感器；（6）壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡；（7）柔性壓電式壓力傳感器；（8）BiFeO3壓電薄膜及MEMS器件應用；（9）壓電MEMS諧振器與振蕩器；（10）壓電MEMS微執行器技術研究進展；（11）氮化鋁MEMS大有可為。
二、培訓對象
本課程主要面向壓電MEMS與傳感器產業鏈上下游企業的技術人員和管理人員，以及高校師生，同時也歡迎其他希望了解壓電MEMS與傳感器的非技術背景人員參加，如銷售和市場人員、投融資機構人員、政府管理人員等。
三、培訓時間
2022年6月24日~6月26日
授課結束后，為學員頒發麥姆斯咨詢的結業證書。
四、培訓方式
原計劃線下舉辦，因為疫情影響改為線上直播課程和答疑。
五、課程內容
課程一：BAW濾波器和BAW傳感器
老師：西南科技大學 研究員 高楊
BAW濾波器和BAW傳感器的基本構件是基于MEMS技術的諧振器，主要包括FBAR和BAW-SMR兩大類。BAW濾波器因具有低插入損耗和高Q值成為高性能5G射頻前端系統的首選，吸引眾多海歸專家與本土人才投身創業大潮。BAW傳感器通過檢測諧振器的諧振頻率變化得到待測物理量，具有靈敏度高、工作頻率高等優點。本課程從壓電材料體系出發，詳細介紹BAW諧振器及濾波器、BAW壓力傳感器及讀出電路的核心技術。
課程提綱：
（1）壓電材料體系綜述；
（2）BAW諧振器及濾波器設計與制造；
（3）BAW濾波器產業現狀及發展趨勢；
（4）BAW壓力傳感器設計與制造；
（5）BAW壓力傳感器讀出電路設計；
（6）BAW技術創新與挑戰。
課程二：SAW傳感器和SAW微流控
老師：岳麓學者、博士生導師 周劍
SAW器件的聲波傳播能量主要集中在固體表面，當固體表面受到外界的刺激（力、電、磁、熱）時，聲波波速變化，導致諧振頻率變化，通過探測頻率偏移，實現對外界參量（如溫度、粘度、氣體濃度、曲度）的探測。而通過在一次性芯片表面上圖案化的微結構來控制表面聲波與微流體之間的相互作用，以隨頻率變化的特定方式來形成聲波，在許多生物和醫療應用中具有巨大的前景。本課程將為學員們講解SAW傳感器和SAW微流控的核心技術和典型應用。
課程提綱：
（1）SAW基本概念、內涵；
（2）SAW傳感器原理和無線無源監測；
（3）SAW傳感器的制備和封裝工藝；
（4）柔性SAW、透明SAW、超高頻SAW前沿進展；
（5）SAW傳感器產業現狀和主要廠商；
（6）SAW微流控原理和應用：聲線、粒子集聚、微泵和霧化；
（7）SAW微流控產業現狀。
課程三：石英晶體微天平傳感器
老師：上海大學 教授 徐甲強
石英晶體微天平（QCM）利用石英晶體的壓電效應，將電極表面的質量變化轉化為振蕩電路輸出的電信號頻率變化，進而再通過處理電路獲得高精度的數據，在微量及痕量物質檢測方面具有優勢，廣泛應用于化學、物理、生物和醫學領域。此外，根據實際應用需求，還可以在電極上選擇性地鍍膜來進一步拓展檢測領域。本課程詳細講解石英晶體微天平技術及應用，重點在于氣體和濕度傳感器設計與制造。
課程提綱：
（1）石英晶體微天平概念及工作原理；
（2）石英晶體微天平應用進展；
（3）基于石英晶體微天平的甲醛傳感器設計與制造；
（4）基于石英晶體微天平的濕度傳感器設計與制造；
（5）石英晶體微天平傳感器技術展望。
課程四：高溫壓電陶瓷材料及其在振動傳感器中的應用
老師：中國科學院上海硅酸鹽研究所 研究員 周志勇
壓電式振動傳感器主要用于發動機和燃氣輪機的振動監測和分析，尤其是航空發動機健康管理系統的關鍵感知器件。但是在航空發電機應用中，嚴苛的環境（例如高溫、高轉速、復雜振動）對壓電式振動傳感器核心敏感元件（高溫壓電陶瓷）的服役性和穩定性提出了新的挑戰。本課程主要介紹壓電式振動傳感器的國內外進展，并講解高溫壓電陶瓷材料各方面知識，以期為國內相關產品研究及產業化提供一定的技術支撐。
課程提綱：
（1）高溫壓電式振動傳感器的國內外進展；
（2）高溫壓電陶瓷材料體系及國內外產品情況；
（3）高溫壓電陶瓷材料結構與靜態性能調控和改善；
（4）高溫壓電陶瓷材料動態性能評測方法和技術；
（5）高溫壓電陶瓷材料面臨的挑戰及應用展望。
課程五：壓電MEMS聲學傳感器
老師：武漢大學 講師 劉文娟
近些年，壓電MEMS技術在聲學傳感領域發展迅速，典型應用包括麥克風、超聲換能器、水聽器等。以壓電薄膜替代傳統電容結構的壓電MEMS麥克風的主要優點包括：（1）高可靠性，防水防塵性能優秀；（2）無需電荷泵，降低語音喚醒和始終在線的功耗；（3）更快的響應速度，減少語音交互延遲；（4）高聲學過載點（AOP），可用于嘈雜或工業環境。本課程從壓電薄膜生長到壓電器件設計與制造，講解麥克風和超聲換能器兩大熱門產品。
課程提綱：
（1）壓電MEMS聲學傳感器概述；
（2）氮化鋁/摻鈧氮化鋁薄膜生長與器件制備；
（3）壓電MEMS超聲換能器（PMUT）設計與制造；
（4）壓電MEMS麥克風設計與制造；
（5）基于PMUT的高分辨率超聲成像系統展望。
課程六：壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡
老師：華中科技大學 教授 余洪斌
MEMS微鏡指采用MEMS制造技術，把微光反射鏡與MEMS驅動器集成在一起的光學器件，在激光雷達、3D攝像頭、微家用投影儀、汽車智能前燈、光通信等應用扮演著重要角色。MEMS變形鏡是自適應光學系統的關鍵元件，對波前像差的擬合能力決定了自適應光學系統的校正性能。本課程詳解基于氮化鋁（AIN）的MEMS微鏡和MEMS變形鏡技術及未來發展。
課程提綱：
（1）MEMS微鏡基本概念及驅動技術（壓電驅動、靜電驅動、電磁驅動、電熱驅動）特性分析；
（2）壓電MEMS微鏡技術發展現狀及其面臨的問題和解決方案；
（3）壓電MEMS微鏡器件設計和制造實例；
（4）自適應光學基本概念和工作原理；
（5）壓電MEMS變形鏡技術發展現狀及其面臨的問題和解決方案；
（6）壓電MEMS變形鏡器件設計和制造實例。
課程七：柔性壓電式壓力傳感器
老師：浙江清華柔性電子技術研究院 副研究員 唐瑞濤
隨著材料科學、柔性電子和微納技術的發展，各種柔性壓力傳感器應運而生，它們通常由兩層柔性電極和中間的功能軟材料構成，具有可彎曲、可變形的特點。聚偏二氟乙烯（PVDF）是一種有機壓電聚合物，可用于柔性壓力傳感器、超聲波指紋識別傳感器等。基于PVDF的柔性壓力傳感器在智能觸覺、健康監測、生物醫療、人機交互等領域具有應用潛力。本課程針對柔性壓電式壓力傳感器進行詳細剖析，并對未來技術發展進行展望。
課程提綱：
（1）柔性壓電材料介紹；
（2）PVDF壓電薄膜及其性能；
（3）柔性壓電式壓力傳感器設計；
（4）柔性壓電式壓力傳感器制造；
（5）柔性壓電式壓力傳感器測試；
（6）柔性壓電式壓力傳感器技術展望。
課程八：BiFeO?壓電薄膜及MEMS器件應用
老師：齊魯工業大學 教授 歐陽俊
近年來，隨著MEMS、傳感器及隨機存儲器等行業的迅速發展，具備優異的鐵電和壓電性能的薄膜材料已經成為研究領域的熱點之一。目前，鉛系材料仍然是應用于這些領域的主體材料，但是其在制備和使用的過程中會對環境造成嚴重的污染問題。因此，尋找一種無鉛且性能優越的材料成為大勢所趨。BiFeO?薄膜因其優異的鐵電和壓電性能而受到人們的廣泛關注，成為可以與鉛系材料相媲美的一類無鉛鐵電環保材料。本課程詳細講解BiFeO?薄膜材料性質、制備與表征方法，以及基于BiFeO?薄膜的MEMS器件。
課程提綱：
（1）BiFeO?材料介紹；
（2）BiFeO?薄膜制備及表征方法；
（3）基于BiFeO?壓電薄膜的MEMS器件原型及表征；
（4）BiFeO?壓電薄膜的性能調控；
（5）BiFeO?壓電薄膜技術發展及應用展望。
課程九：壓電MEMS諧振器與振蕩器
老師：武漢大學 教授 吳國強
時鐘器件是電子電路設備的心臟，提供時間參考和頻率基準。MEMS時鐘器件（例如MEMS振蕩器）是MEMS細分市場增速領先的產品。相比傳統的石英晶體振蕩器，壓電MEMS振蕩器具有小尺寸、高可靠性、低功耗和可編程等優勢，在可穿戴設備、物聯網、智能手機和汽車等領域具有廣闊的應用前景。本課程講授MEMS諧振器與振蕩器基礎知識、設計理論、系統應用以及產業化的關鍵技術。
課程提綱：
（1）MEMS諧振器、振蕩器及時鐘概念、原理及分類；
（2）MEMS時鐘器件產業情況及主要廠商；
（3）壓電MEMS諧振器設計理論；
（4）壓電MEMS諧振器關鍵技術；
（5）壓電MEMS諧振器與振蕩器設計、制造及測試。
課程十：壓電MEMS微執行器技術研究進展
老師：烏鎮實驗室 研究員 杜亦佳
壓電MEMS通過單片集成形式即可實現執行、傳感、能量收集和無線通信，是應用潛力巨大的熱點技術。壓電MEMS微執行器能夠精確、自主地執行復雜動作如直線、旋轉、加速度、鉗動等，以此完成對極微小器件與結構的納米尺度精確操作。因此，壓電MEMS微執行器不但能夠滿足集成微系統（IMS）對自測試性、微定位性和片上操控性的嚴苛要求，同時能夠滿足集成微系統對輸出力矩/體積效能比、響應速度、分辨率、功耗、集成度方面的需求。通過本課程的學習，您可以全面了解壓電MEMS微執行器技術及應用。
課程提綱：
（1）壓電MEMS微執行器基本概念和工作原理；
（2）壓電MEMS微執行器結構設計；
（3）壓電MEMS微執行器制造工藝；
（4）基于KNN薄膜的壓電MEMS換能器設計與制造；
（5）壓電MEMS微執行器應用領域及發展趨勢。
課程十一：氮化鋁MEMS大有可為
老師：天津大學 助理教授 張孟倫
氮化鋁（AlN）壓電薄膜作為一種重要的III-V族化合物材料，具有高聲波速、高壓電性以及良好的化學穩定性等優點，在傳感器、高頻聲波諧振器及濾波器等領域備受關注。通過在氮化鋁中摻入稀土元素或過渡金屬元素，還可以改善材料的機電耦合系數和壓電系數，實現更有效的機械能-電能轉換，例如摻鈧（Sc）氮化鋁（AlScN）薄膜可以提高射頻器件的工作效率。并且，氮化鋁壓電薄膜制造工藝可與CMOS工藝兼容，這些都使得氮化鋁壓電薄膜成為當前最炙手可熱的壓電薄膜材料之一。本課程詳細闡述氮化鋁MEMS技術發展之路及典型的氮化鋁MEMS器件。
課程提綱：
（1）過去40年：MEMS平臺技術演進——從硅到氮化鋁；
（2）過去20年：氮化鋁MEMS小試牛刀——從諧振器到麥克風；
（3）未來20年：氮化鋁MEMS大展宏圖——從傳感到執行；
（4）典型的氮化鋁MEMS器件剖析。
六、師資介紹
高楊，博士，研究員、博導，主要研究方向為軍民兩用微系統技術及其應用，涉及RF MEMS關鍵技術、BAW濾波器及雙工器、BAW傳感器等。2000年畢業于北京理工大學電子工程系，獲博士學位，是李幼平院士（中國工程院）培養的第一位博士；2004年上海交通大學電子學與固態電子學專業在職博士后出站。1996年至2019，在中國工程物理研究院電子工程研究所工作，歷任3個研究室（處級）的主要領導和所科技委委員。2019，他作為“拔尖人才”被全職引進到西南科技大學，創建了西南科技大學微系統中心（SWUSTMicrosystem Center）、四川爆米（BAWME）微納科技有限公司。他主持過裝備型號/背景型號/預研/重大基礎研究項目或子項目，以及863計劃、國防基礎研究、國家自然科學基金、省部級重點基金等縱向科研項目20余項；獲部級一等獎1項（排名2）、部級二等獎1項（排名1）、部級三等獎5項（排名1、1、2、3、4）。授權發明專利40余項；一作發表學術論文100余篇，其中SCI/EI檢索40余篇；近5年在本專業重要學術會議做特邀報告10余次。2019當選“第一屆中國測試學術影響力人物”。
周劍，多次獲得麥姆斯咨詢頒發的年度講課老師稱號，博士，岳麓學者、副教授、博士生導師，英國愛丁堡大學訪問學者，教育部聯合基金（青年人才）項目和湖南省自然科學基金優秀青年基金獲得者。他長期從事SAW傳感器和微流控研究，在SAW傳感器和微流控基礎材料加工、芯片設計、Comsol仿真、傳感器和微流控測試等方面積累了豐富的經驗。他承擔了國家自然科學基金面上項目、青年基金、科技委基礎加強基金、教育部聯合基金、湖南省科技公關項目、湖南省重點研發子課題、廣東省重點研發子課題等十余個項目。在Nano Letters、ACS AMI、ACS sensors、IEEE TMI、APL等發表了SCI/EI論文60余篇，被引次數約1000次，授權發明專利10余項。他還曾獲湖南省儀器儀表學會科學技術獎一等獎、中國中車科學技術獎二等獎、校優秀教師新人獎、校教學比賽二等獎。
徐甲強，博士，上海大學教授、博士生導師、理學院副院長。他于2003年獲得河南省杰出青年科學基金資助，入選由斯坦福大學和愛思維爾集團發布的1960-2019終身科學影響力排行榜，2019分析化學前2%頂尖科學家。1985年畢業于鄭州大學化學系，獲理學學士學位；1988年畢業于中國科技大學，獲無機化學理學碩士學位；2005年畢業于上海大學，獲材料學工學博士學位。他長期從事納米結構材料的設計、制備及其在能源存儲轉換材料與器件、化學與生物傳感器等領域的研究工作。研究項目“金屬氧化物氣敏材料的微結構設計、可控制備及其增敏機理研究”獲2015年上海市自然科學二等獎；“碳纖維自行車整體車架研制開發”、“催化劑在半導體氣敏材料中的應用”和“氧化錫氣敏粉體的制備及其應用研究”等5項成果分別獲河南省科技進步二等獎和三等獎。他擁有發明專利25項，發表SCI論文300篇，先后入選ESI高被引論文15篇，總被引次數10200，H指數57。現主持1項國家重點研發計劃項目課題“硅基晶圓級氣敏薄膜制備與熱學特性測試”、1項國家自然科學基金面上項目“PdM雙金屬納米晶的可控合成及其對金屬氧化物氣敏材料的多重增敏機理研究”；副主持1項國家重大科研儀器研制項目“基于微納諧振敏感效應的界面分子作用熱力學/動力學參數提取與材料特性評估裝置”和1項國家自然科學基金-河南省聯合基金重點項目“煤礦瓦斯檢測用新型氧化物半導體氣敏材料構筑及性能調控”；參與2017年國家重點研發計劃新能源汽車燃料電池和超級電容器項目2項；與上海卡耐能源有限公司、上海奧威科技發展有限公司和上海搖擼儀器有限公司分別在鋰離子電池、超級電容器和呼吸氣檢測等領域開展了緊密合作，以推進科技成果的產業化。
周志勇，博士，中國科學院上海硅酸鹽研究所研究員。2007年，博士畢業于中國科學院上海硅酸鹽研究所；2008~2009年，赴德國于立希研究中心固態研究所擔任洪堡訪問學者；2009~2012年，赴英國紐卡斯爾大學擔任助理研究員；2012年回到中國科學院上海硅酸鹽研究所先后擔任副研究員、研究員。他主要研究方向是高溫壓電材料（陶瓷和薄膜）結構設計、性能調控和服役穩定性及高溫工程應用。他作為項目負責人承擔了國家自然科學基金、上海市自然科學基金、軍委科技委、裝備發展部預研、中科院STS區域重點項目和儀器裝備研制項目等多項科研任務。他在J. Mater. Chem. C、Appl. Phys. Lett.、J. Am. Ceram. Soc.等期刊發表SCI論文80余篇，其中第一作者或者通訊作者論文30篇，申請中國發明專利24項，授權13項。他曾獲2014年度上海市技術發明一等獎。
劉文娟，博士，武漢大學工業科學研究院講師，博士畢業于復旦大學專用集成電路與系統國家重點實驗室。她的研究方向為壓電MEMS器件及應用，主要從事壓電MEMS聲學傳感器設計與制備、氮化鋁/摻鈧氮化鋁薄膜生長、高分辨率超聲成像系統等研究。她在IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control、IEEE Sensors Journal、IEEE IUS等著名國際期刊及高水平國際會議上發表論文10余篇，申請及授權中國發明專利共3項，參與包括國家科技部重點研發計劃、國家自然科學基金以及重要企業資助等科研項目共5項。
余洪斌，多次獲得麥姆斯咨詢頒發的年度講課老師稱號，博士，華中科技大學教授（楚天學者特聘教授）。他2005年畢業于華中科技大學獲光學工程博士學位，隨后赴新加坡國立大學從事微電子（光電子）機械系統（MEMS/MOEMS）技術領域的研究工作，歷任研究員和高級研究員。他曾為新加坡科技局微電子研究院研究員、項目負責人（PI），同時擔任新加坡國立大學機械工程系客座助理教授。他一直從事基于MEMS/MOEMS技術新型功能器件（諸如微型掃描儀、微型光譜儀、微型摩擦測量儀、微型可調光闌、可變焦透鏡及微型超聲波器件等）的設計、制備工藝、封裝測試及其系統應用方面的研究工作，同時也開展新型光學儀器和光學檢測技術方面的研究。近年在Applied Physics Letters、Optics Express、Optics Letters、Sensors and Actuators B、IEEE Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Journal of selected topic on quantum electronics及Journal of Micromechanics and Microengineering等相關領域的國際、國內核心期刊上發表論文80余篇，撰寫書本章節并多次在相關領域國際會議上宣講研究成果。作為核心成員申請和獲授權國內、國際專利15項（8項中國專利、7項美國專利），其中兩項專利成功獲得商業轉讓，現正進行相關產品的開發。同時，他長期擔任十余種國內、國際期刊的特邀審稿人，作為主要負責人成功獲得國家自然科學基金資助，主持或參與多個研究項目，包括國家自然科學基金、新加坡教育部基金、新加坡國家研究基金、新加坡科技局項目。
唐瑞濤，浙江清華柔性電子技術研究院副研究員，博士畢業于中國科學技術大學。畢業后入職浙江清華柔性電子技術研究院，主要從事壓電式薄膜壓力傳感器的研發工作，研究方向包括聚合物壓電薄膜材料制備、壓電薄膜極化工藝、薄膜傳感器結構設計、性能表征測試方法及定量化理論。他主持設計完成的壓電薄膜傳感系統能夠應對多種復雜應用場景，性能遠超同類型的壓電薄膜傳感器。他主持參與多項國家重點研發計劃、國家重點基礎加強項目、國家自然科學基金重點項目以及浙江省自然科學基金等，在相關領域發表論文15篇，申請國家發明專利20余項，參與制定柔性電子器件可靠性標準2項。
歐陽俊，博士，齊魯工業大學教授，“新能源材料化學與功能器件”科研團隊負責人，教育部新世紀優秀人才，山東省“惠才卡”專家和省級領軍人才。1999年在清華大學獲得學士學位，師從清華大學陶瓷國家重點實驗室主任潘偉教授；2005年在美國馬里蘭大學獲得材料科學與工程博士學位（鐵電/壓電材料方向，師從美國工程院院士R.Ramesh教授和鐵性疇理論專家Royburd教授）。2005年6月至2010年4月在美國希捷科技（SeagateTechnology）任職，先后擔任電子設計高級工程師和電子材料研發主管工程師。2010年4月至201912月在山東大學材料學院擔任教授和博士生導師。目前，他還擔任中國硅酸鹽學會特種陶瓷分會理事和山東硅酸鹽學會電子陶瓷專家委員會常務委員，Journal of Advanced Ceramics期刊編委。他曾擔任中國真空科學與技術學報理事、山東省清華校友會副秘書長、第十二屆先進陶瓷國際會議介電和鐵電儲能分會主席。
吳國強，多次獲得麥姆斯咨詢頒發的年度講課老師稱號，博士，武漢大學青年學術帶頭人、教授、博士生導師，主要從事MEMS諧振器和振蕩器、壓電聲學MEMS傳感器、MEMS慣性傳感器的研究工作。他2013年從中科院上海微系統與信息技術研究所獲得工學博士學位，曾擔任中航工業自控所慣性MEMS傳感器研發工程師，以及新加坡科技局微電子研究院研究員。作為獨立項目負責人主持含國家自然科學基金、國家重點研發計劃課題、企業資助技術開發等多項科研項目。近年來在JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、IEEE TED等領域主流期刊上發表學術論文60余篇，申請國內專利40余項。
杜亦佳，博士，烏鎮實驗室研究員。2013年至2015年在中物院無線電物理博士后流動站進行博士后工作，與德國IHP聯合開展MEMS微執行器研究；2015年至2021年，在中國工程物理研究院電子工程研究所微系統與太赫茲研究中心從事壓電微執行器技術研究；2021年起，在烏鎮實驗室從事基于先進壓電薄膜的MEMS器件研究。她先后主持與參與了各類國家項目、國家自然科學基金面上項目、青年基金、中國博士后科學基金等科研項目。近年來，她已經在國際權威期刊JACS、IEEE J MEMS、SENSOR ACTUAT A-PHYS、IEEE T NUCL SCI等發表了多篇學術論文。
張孟倫，工學博士，天津大學精密儀器與光電子工程學院助理教授、碩士生導師，英國劍橋大學訪問學者。他專注MEMS領域研究十余年，研究領域覆蓋各類聲學MEMS器件，包括麥克風、揚聲器、超聲換能器及頻率器件等。在壓電MEMS方向以第一作者/通訊作者身份發表國際學術論文40余篇（JMEMS、Microsyst Nanoeng、TUFFC、JMM、EDL、APL、Small、PRA、B&B、ACS Sensors、ACS AMI、Analyst等），并將研究成果出版英文專著章節；在MEMS領域申請和授權國內外發明專利150余項。他多次受邀參加國際學術會議并作報告，近5年來先后赴9個國家和地區在多場MEMS領域會議上（IEEEMEMS、Transducers、Sensors、NEMS等）作報告；擔任Nanotechnology and Precision Engineering等國際學術期刊編輯。
七、培訓費用和報名方式咨詢
請發送電子郵件至[email protected]，郵件題目格式為：報名+壓電MEMS與傳感器培訓+單位簡稱+人數。
報名網站：https://www.memstraining.com/training_43.html
麥姆斯咨詢
聯系人：畢女士
E-mail：BISainan#http://MEMSConsulting.com（#換成@）
